マイクロテクノロジーとナノテクノロジー

最近マイクロセンサは安全を守るためのツールや部品として応用されています。そのため、その開発や製造においては、安全性と信頼性を満たす堅牢な設計と高い精度が求められています。マイクロデバイスの品質を決定し維持するためには、正確で信頼性が高くスピーディな測定技術は、重要な役割を果たします。

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この特許取得済みの新しい測定技術は、シリコン封止されたMEMSを、シリコンキャップ越しに測定することができます。ポリテックでは、MSA IRIS を使用して、シリコンキャップ付きMEMSのモーダルテスト等の測定サービスを行っています。

MSA-600 は、MEMS や微細構造の静的・動的な 3D 特性を測定するオールインワン光学測定ソリューションで、最大 6GHz まで対応します。MSA-600は、マイクロシステム開発および品質検査を強化し、市販のプローブステーションに組み込むことにより、ウェーハレベルでのテストも可能にします。

3D振動を一度に測定できるため、面内振動成分と面外振動成分の両方について、サブピコメータの変位分解能を備えた高分解能3D振動解析が可能になります。