圧電2軸MEMSミラーデバイスの振動解析と小型・広角化
MEMSデバイスの動特性評価は、非接触で振動測定ができるレーザドップラ振動計の最も適したアプリケーションの一つです。
対物レンズ越しに観察するようなサイズであっても、ポリテックのレーザドップラ振動計であれば多点測定を行い、瞬時にアニメーションを表示できます。
今回のセミナーでは、ユーザ様である、株式会社リコー 新川様よりMEMSミラーデバイスをレーザドップラ振動計によって多点測定した実例をご紹介いただきます。
2026年6月19日 11:00 ~ 12:00【Zoom開催】
ご講演者
株式会社リコー
技術本部 先端技術研究センター
次世代技術研究室
新川 瑞季 様
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