Encuentro de usuarios sobre microestructura 2026

Simposio sobre medición óptica de vibraciones
19 de marzo de 2026, Waldbronn

User Insights for Your Work

Tras 18 exitosas jornadas de usuarios de vibrómetro celebradas en su sede central alemana a lo largo de los últimos 35 años, Polytec se complace en presentar la Jornada de Usuarios de Microestructuras 2026. Este evento internacional de primer nivel reunirá a expertos y profesionales para explorar los últimos avances en la medición óptica de vibraciones para MEMS, transductores ultrasónicos, ondas acústicas y otras aplicaciones de microestructuras.

Acompáñanos el jueves 19 de marzo en la sede central de Polytec en Waldbronn, Alemania, para disfrutar de una jornada llena de ponencias inspiradoras, debates interactivos y oportunidades de establecer contactos de forma colaborativa. Nuestro objetivo es crear una plataforma de alto nivel en la que se comparta conocimiento, surjan nuevas ideas y las conexiones se extiendan más allá de nuestra comunidad actual.

Be part of the Microstructure User Meeting 2027 

Would you like to attend the Microstructure User Meeting 2027—or share your expertise with the community as a speaker? 

  • Leave your contact details in the form below to receive early updates on the event, including programme details, registration and opportunities to contribute.
  • We will notify you by email as soon as new information becomes available.

Los temas principales del evento son:

Espejos MEMS
Micrófonos MEMS
Membranas MEMS y sensores de presión
cMUT y pMUT
Sensores inerciales
Mapeo de obleas de dispositivos MEMS
Componentes SAW y microfluídica
Voladizos y puntas de AFM

¿Por qué deberías asistir?

The Polytec Microstructure User Meeting is a focused international event that brings together experts and practitioners in the field of microstructure dynamics and MEMS characterization.

La Reunión de Usuarios de Microestructura « Polytec » es un evento internacional especializado que reúne a expertos y profesionales del ámbito de la dinámica de la microestructura y la caracterización de los MEMS. Esta reunión, de un día de duración, ofrece una plataforma de alto nivel para el intercambio de conocimientos, fomenta la colaboración entre la industria y la investigación, y permite explorar las últimas tendencias y aplicaciones en la medición óptica de la microestructura.

  • Ponencias principales
  • Presentaciones y aplicaciones
  • Taller práctico sobre microsistemas
  • Últimos sistemas de medición y ensayo
  • Oportunidades para establecer contactos
  • Almuerzo + Café

Share your expertise at the Microstructure User Meeting 2027

Are you working on innovative MEMS, microsystem or microstructure applications? We invite researchers, engineers and industry experts to share their experience, measurement challenges and application insights with the community.

  • If you are interested in presenting your work at the Microstructure User Meeting 2027, let us know using the form below. 
  • We will keep you informed about upcoming speaker opportunities, submission details and event updates.

The second Polytec Microstructure User Meeting 2026 was a great success. On 19 March 2026, experts and practitioners from around the world met at Polytec headquarters in Waldbronn to discuss current developments in optical vibration measurement of microstructures.

Following the first Microstructure User Meeting, held on 24 October 2019, and building on Polytec’s long-standing Vibrometer User Meeting tradition, the event provided a dedicated forum for the MEMS and microsystems community. The highly positive feedback from participants confirmed that this format meets a clear need across the field.

10 technical presentations from industry and research

TU Wien, HSG, Fraunhofer ENAS, Fraunhofer ISIT, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Leibniz-Institut IFW, CEA-Leti Grenoble, IMMS GmbH and Polytec.

Hands-on microsystems workshop

Live demonstrations with Polytec MSA systems and laboratory tours during the pre-event programme.

International expert network

Participants from research institutes and industry worldwide, with all presentations delivered in English.

Ice Breaker Dinner

An informal evening on 18 March provided a relaxed start to the meeting and enabled early networking.

Free attendance

The meeting was free of charge for all participants, including catering and event materials.

"The MSA was a game changer for us.  To correlate the modes to spektra was so important for us."

Prof. Heiko Weber
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen

"Since our measurements sometimes take days, we have to be sure  

that the measurement system is stable the whole time."

 

"Please keep the „Bring Your Sample“ philosophy."

Steffen Michael
IMMS GmbH Ilmenau

Conferencias y contenidos

Programme 2026

Presentations and speakers

TopicPresentation · Speaker
Piezoelectric microsystems

Piezoelectric microsystems at TU Wien

Assoc.Prof. Michael Schneider, Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme · TU Wien

MEMS PMUT and encapsulated inertial sensors

 

Characterization of resonant MEMS-PMUTs and encapsulated inertial sensors – at wafer level

Dr. Roman Forke and Sven Voigt · FHI-ENAS

MEMS microphones

Three-dimensional folded MEMS platform for area-efficient piezoelectric sensors and actuators

Dr. Achim Bittner · HSG

 LIDAR micromirrors

Development and optimization of micromirrors for LIDAR applications

Dr. Jeong-Yeon Hwang · FHI-ISIT

HQ mechanical oscillators

Highest-quality-factor mechanical oscillators as components for future quantum technologies

Prof. Heiko Weber · FAU Erlangen

SAW microacoustic devices

Materials for the technologies of tomorrow: Advanced in-situ characterization of surface acoustic wave based microacoustic devices

Dr. Hagen Schmidt · Leibniz-Institut IFW

Response functions around 5 GHz

Demonstrating MSA-600-S capabilities to understand electrical response of a BAW resonator around 5 GHz

Dr. Alexandre Reinhardt · CEA-Leti Grenoble

Wafer mapping prober

Wafer mapping using versatile automatic Prober TS2000 in combination with Micro System Analyzer

Volker Hänsel  · MPI/ATV

Parameter extraction

Parameter extraction at wafer level for process monitoring in semiconductor manufacturing

Steffen Michael · IMMS GmbH

La tarde anterior, el miércoles 18, está previsto celebrar una «sesión práctica» y reunirnos en una «cena para romper el hielo». Así que, por favor, reserva la fecha y mantente informado. Ten en cuenta también que todas las presentaciones y el idioma de la conferencia serán en inglés.

Live demonstrations 2026

Hands -on Applications & Demo setups

MEMS Micro Mirror for LiDAR, damping, resonant frequencies and shapes
Si-capped MEMS, measuring inplane and out of plane dynamics
Surface acoustic wave (SAW)
Automated process monitoring of MEMS on waferlevel

Microstructure User Meeting 2026 | International Conference Highlights

Aplicaciones interesantes

Electrónica, semiconductores y energía solar

PolytecLos sensores ópticos de vibración con vibrómetros láser son herramientas indispensables para usted, tanto si realiza ensayos dinámicos en investigación, diseño y ensayos industriales, como si supervisa procesos como el de unión en la fabricación de electrónica de potencia.

Más información

Microtecnología y nanotecnología

Una tecnología de medición precisa, fiable y rápida para caracterizar y supervisar la calidad de los dispositivos es decisiva para el desarrollo y la producción de microsistemas. Esto cobra aún mayor importancia dado que los microsensores asumen cada vez más tareas relacionadas con la seguridad, lo que plantea grandes exigencias en cuanto a fiabilidad y seguridad funcional.

Más información

Cómo contribuye la medición de vibración por láser a la I+D

Laser vibrometry focusing on the small details
  • Characterize small and delicate structures in a non-contact way. 
  • Analyze vibrations, acoustics and dynamics. 
  • Measure biomedical samples, electronic components and microstructures like MEMS using light, without mass-loading, and from DC up to the GHz range on a large bandwidth. 

Laser vibrometers focus on the small details, measuring deflection shapes for model validation. They assess the frequency response and determine resonance frequency, impulse response, and Q-factor. 

No matter how big or small – Polytec vibrometers measure it!

Sistemas de medición óptica asociados:

MSA-100-3D Analizador de microsistemas

El analizador 3D Micro System Analyzer registra simultáneamente los componentes de vibración en las tres direcciones espaciales. El sistema de medición óptica permite realizar análisis de vibración en 3D de alta resolución, desde CC hasta 25 MHz, con resoluciones de amplitud en el rango subpicométrico, tanto para los componentes de vibración en el plano como fuera de él.

MSA-600 Analizador de microsistemas

La solución integral de medición óptica para la caracterización 3D estática y dinámica de MEMS y microestructuras: ¡ahora con una frecuencia de hasta 8 GHz! El sistema de medición de microestructuras « MSA-600 » mejora el desarrollo de microsistemas y los controles de calidad, y permite además realizar pruebas a nivel de oblea cuando se integra en estaciones de sonda disponibles en el mercado.

MSA-060 Analizador de microsistemas

Utiliza el analizador de microsistemas « MSA-060 » para adentrarte en el mundo del análisis de microsistemas. Registra y visualiza las vibraciones y la dinámica de componentes pequeños y microsistemas con precisión láser en toda la superficie, desde CC hasta 24 MHz. Los analizadores de microsistemas utilizan láseres de medición, lo que permite revelar la verdadera dinámica de los componentes pequeños de una forma totalmente sin contacto y sin invasión.

VibroScan QTec Neo Vibrómetro de escaneo

VibroScan QTec Neo

VibroScan QTec Neo mide las vibraciones de una forma novedosa: sin contacto, en toda la superficie y con una precisión sin precedentes. Por primera vez, la tecnología « QTec® » se ha transferido con éxito del láser infrarrojo SWIR al láser de helio-neón visible. Con un punto de medición láser reducido, el preciso láser de helio-neón es adecuado para realizar mediciones en las estructuras más finas e incluso mide dentro y a través del agua. « QTec® » garantiza siempre una señal estable y la mejor relación señal-ruido. « VibroScan QTec Neo » asegura la máxima portabilidad con adquisición de datos de medición integrada y un generador de señales de hasta 32 MHz.

Service

Optical testing of capped MEMS as service

Download

Please fill out the form to receive your download link via email in a few minutes.