Mesurer la dynamique et la topographie de MEMS

Les systèmes de mesure de surface polyvalents de Polytec vous permettent réaliser vos mesures liées à la micro et nanotechnologie, de manière fiable, rapide et précise.

Vous pouvez ainsi transférer les profondeurs de canaux sur votre labo microscopique, déterminer la hauteur de marche de l'encapsulation de MEMS, déterminer la pression des capteurs et analyser des MEMS à l'aide des paramètres de surface.

La gamme d'analyseur de microsystème (MSA) et de système de mesure de surface (TMS), simplifient Même des mesures dynamiques hors plan ou dans le plan sur des filtres RF (pour la détection des fréquences de résonance de l’ordre de MHz) vont vous paraître simple à présent, grâce à aux gammes d’analyseur de microsystème (MSA) et de système de mesure de topographie de surface (TMS).

Brochure Competence Field Surface Metrology

MEMS Getriebe