表面弾性波（SAW）フィルタの非接触測定
表面弾性波（SAW）フィルタは、表面弾性波を応用した電子フィルタ素子で、携帯電話などの高周波アプリケーションにおいて必要不可欠です。 SAWの特性の最適化は、新しいSAWコンポーネントを開発する際に重要な課題の1つです。
SAWは高い周波数、短い伝播経路長、および微小な振動振幅のため、その測定および可視化は、容易ではありません。しかしレーザドップラ振動計は、そのような測定も実現することができます。
ポリテックのレーザドップラ振動計は、広い周波数帯域の測定を非接触で測定し、振動形状を可視化することができます。さらに過渡現象や緩和現象を測定することも可能です。SAWフィルタの特性や性能損失（リーク）を検証するのに役立ちます。
開発段階のSAWを高周波でテスト
SAWは、電子フィルタとしての用途に加えて、ラボオンチップなどマイクロ流体アプリケーションにおいても重要な役割を果たしています。チップ上に滴下された血液などの生体材料がチップ上の流路を流れるために表面弾性波が利用されており、その伝播ダイナミクスを検査することはラボオンチップの品質管理に繋がります。高い周波数帯域と分解能で、非接触振動測定を実現するポリテックの顕微鏡型レーザドップラ振動計MSA マイクロシステム アナライザ シリーズはこのアプリケーションに最適です。
マイクロシステムの評価
関連製品
マイクロシステムアナライザ MSA-600
MEMSやマイクロ構造の静的または動的な3D特性評価のための世界唯一のオールインワン測定システムです。現在は最大2.5GHz。市販のプローブステーションと組み合わせると、ウェハレベルでのMEMSの測定も実行できます。
マイクロシステムアナライザ MSA-100-3D
3D振動を一度に測定できるため、面内振動成分と面外振動成分の両方について、サブピコメータの変位分解能を備えた高分解能3D振動解析が可能になります。
マイクロテクノロジーとナノテクノロジー業界におけるその他の関連アプリケーション
- ウェハレベル
![Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level]( "Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level")
Deflection shape after modal testing microacoustic device on wafer level - 試作品検査
![MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium]( "MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium")
MEMS prototype testing, here a CMOS / MEMS co-integrated flow microsensor, (C) University of Louvain, Belgium - cMUTs and pMUTs
![Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells visualizing dynamic displacement]( "Laser Doppler vibrometer measurement of leaking CMUT transducer cells")
Laser Doppler vibrometer measurements of several leaking CMUT cells, visible with a much lower dynamic displacement when operating the device - FEMの検証
![Eigen frequency of RF-MEMS switch for FEM simulation validation, G. Schrag University of Munich]( "Eigen frequency of RF-MEMS switch for FEM simulation validation, G. Schrag University of Munich")
Determination of Eigen frequency as one phase in the parameter extraction and calibration procedure of an energy-coupled simulation model of an RF-MEMS switch, G. Schrag University of Munich - マイクロメカニック
![Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS]( "Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS")
Laser vibration measurement for testing micro-mechanical MEMS - MEMSの品質管理
![Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber]( "Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber")
Vibration measurements for reliability testing on MEMS in a vacuum chamber - バイオMEMS
![Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta]( "Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta")
Deflection shape of cMUT transducer array, University of Alberta
