ウェハ上のMEMSの効率的な測定

チップを切り出す前のウェハレベルで測定すると、製造プロセスの早い段階で不良チップを選別することができ、歩留まりや品質を維持しながらMEMS製造コストを低減できます。この場合、電気的テスト手法が標準的ですが、光学的測定によって機械的機能を直接的に検証することができます。

ポリテックの顕微鏡ベースのスキャニングレーザー振動計マイクロシステムアナライザは市販の半自動プローブステーションと簡単に組み合わせて、ウェハ上のMEMSの動的挙動を効率的かつ迅速に測定することができます。これにより、効率的に生産プロセスを監視することができます。

Time domain of switching behavior of RF switches

ウェハレベルでのRF MEMSスイッチのスイッチング動作の測定

Microstructure characterization

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