MEMS特性評価のための革新的なソリューション

ポリテックのマイクロシステムアナライザは、MEMSのダイナミクスと形状の両方を測定することができる理想的な顕微鏡型システムです。

MEMSなどの電子デバイスは、電気テストで、デバイスが動作しているかどうかは証明できますが、デバイスがどう動作しているか、その正確な動きを見るには、レーザドップラ振動計しか手段がありません。また、小型軽量化、高周波駆動化する昨今では、非接触計測が可能で、かつ、高周波帯域でも、ナノピコ分解能で高精度に振動変位を計測できるレーザドップラ振動計は、必須のテスティングツールであると言えます。