Caractérisation de la topographie et de la dynamique des microstructures
Les microstructures sont des structures très petites, souvent difficiles à voir à l'œil nu. Lors du développement et de la production de microsystèmes et de MEMS, l'inspection de la topographie de surface permet de vérifier les tolérances dimensionnelles définies et la qualité. Parmi les exemples typiques, on peut citer les gyroscopes, les capteurs de pression, les capteurs d'accélération, les pompes micromécaniques, etc.
La fonctionnalité de ces types de surfaces peut être influencée par de petits changements physiques de défauts à l'échelle du micromètre et du nanomètre. Par conséquent, l'inspection de surface à haute résolution est un aspect important de la caractérisation de surface dans le domaine de la technologie des microsystèmes.
Mesure des surfaces de microstructures
profilomètre La mesure des microstructures nécessite des systèmes sans contact à haute résolution, avec une mise au point et des points étroits (ROI - régions d'intérêt). Grâce à un système de mesure de haute précision tel que l'interféromètre à lumière blanche d'Micro.View, il est possible d'analyser et de documenter de manière fiable la profondeur des canaux des laboratoires sur puce, la hauteur d’escalier sur les boîtiers MEMS, la planéité des capteurs de pression, etc.
Pour effectuer des mesures dynamiques hors plan et dans le plan sur des filtres RF afin de déterminer les fréquences de résonance MHz, il est possible d'utiliser des vibromètres. Par exemple, les vibromètres MSA de Polytec permettent même d'analyser la dynamique MEMS encapsulée dans un boîtier SI.
Micro.View pour la mesure de surface sur des microstructures
Découvrez les systèmes d'profilomètres de surface optiques 3D haute précision, utilisant l'interférométrie en lumière blanche pour une résolution nanométrique et des flux de travail automatisés.
Vibromètres MSA pour comprendre le comportement dynamique
Validez de manière fiable et avec une précision maximale la dynamique et la topographie des microsystèmes, que ce soit dans la gamme des kilohertz, à plusieurs mégahertz ou jusqu'à la gamme des gigahertz.
Discutez de vos besoins avec nos experts
Commençons par une brève discussion sur vos pièces, vos tolérances et votre flux de travail. Si nécessaire, nous pouvons ajouter une étude de faisabilité, PolyMeasure (mesures contractuelles) ou un essai PolyRent comme étapes supplémentaires facultatives.
