Micro.View+Perfilómetro de rugosidad eficiente para flujos de trabajo automatizados

Micro.View+
Perfilómetro de rugosidad para flujos de trabajo automatizados y detalles estructurales

El medidor de rugosidad asequible que permite inspeccionar parámetros de superficies y detalles estructurales con una resolución inferior al nanómetro, con opciones totalmente motorizadas para ejecutar flujos de trabajo automatizados con alta precisión de repetición.

Perfilómetro de rugosidad preparado para la automatización con Color View

Micro.View+ amplía el Ensayo de rugosidad de superficie a secuencias de trabajo automatizadas e independientes del operario para la producción y el control de calidad. Este perfilómetro combina una precisión subnanométrica, un amplio rango Z de 100 mm y una motorización completa para ofrecer mediciones de rugosidad de superficie rápidas y repetibles, desde microelementos hasta componentes de mayor tamaño.

  • Análisis fiable de la rugosidad de superficie con una precisión inferior al nanómetro en diversos materiales gracias a Smart Scanning Technology y Color View
  • el campo de visión (FoV) más amplio y variable para un análisis flexible de la rugosidad (desde 0,07 mm hasta 15,5 x 11,7 mm)
  • True Stitching para una precisión inigualable en piezas más anchas
  • Amplio rango de medición en el eje Z de 100 mm con resolución completa gracias a la Tecnología de escaneo continuo (CST)
  • Medición basada en recetas con Focus Finder para operaciones repetitivas
  • Cumple con las normas más recientes (ISO 25178, ISO 21920 y otras)
  • Secuencias de trabajo independientes del operario gracias a Focus Tracker ya las mesas motorizadas X, Y, Z, de inclinación y giro, así como al revólver motorizado
  • Preparado para la automatización industrial gracias a su diseño modular y sus interfaces

Micro.View+ Es la mejor opción para aplicaciones con mayores requisitos de automatización, mediciones en serie o secuencias de trabajo independientes del operario. En caso de que no se requieran capacidades de automatización ni el sistema « Color View », el perfilador Micro.View podría ser otra alternativa interesante.

0,01
nm
Resolución vertical excepcional
100
mm
Gran rango de posicionamiento en el eje Z + rango de escaneo
0,05-100
%
reflectividad de la muestra
Aspectos destacados

Análisis industrial de la rugosidad de prácticamente cualquier superficie, preparado para flujos de trabajo eficientes y automatizados

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Aplicaciones

Medición automatizada de superficies: desde la rugosidad de superficie hasta la tribología con alta precisión de repetición

A continuación se muestran algunos resultados reales obtenidos en tareas estándar (rugosidad, planicidad, altura de escalón, textura y Tribología) en materiales de ingeniería habituales. Estos ejemplos han sido recopilados por nuestros centros de aplicaciones, que realizan estudios de viabilidad y ofrecen servicios de medición por encargo.

Rugosidad de superficie de una superficie metálica rectificada con CNC
Célula solar con material altamente reflectante (textura de la base: 212 nm; de la capa superior: 1,75 µm)
Investigación de la tribología: análisis del desgaste
Investigación de materiales
Rugosidad de superficie de una oblea
Acercamiento a las microestructuras y la microelectrónica
Pasos nanométricos
Evaluación de la forma, la planicidad y la altura de escaló de un MEMS; en este caso, un Sensor de presión MEMS

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Características

Perfilómetro de rugosidad y forma que ofrece la máxima precisión, con capacidades de automatización y Color View

Micro.View+ Ofrece amplias posibilidades de automatización de los flujos de trabajo y resulta muy eficaz para tareas repetitivas de metrología. Especialmente con el revólver motorizado y las plataformas opcionales, que además cuentan con la función de inclinación y giro. Algunas características clave:

True Stitching - Mayor precisión para muestras más amplias

Dado que las superficies más grandes superan el Campo de visión de una sola toma, el ensamblaje fusiona los mosaicos en un único conjunto de datos preciso. La calidad metrológica de estas mediciones de gran superficie depende de la óptica y la tecnología de detección, del número de mosaicos y de los algoritmos de ensamblaje.

True Stitching Ofrece mediciones de gran superficie de alta fidelidad al minimizar los artefactos de unión y preservar la geometría.

Una evaluación comparativa independiente realizada en una prestigiosa universidad técnica alemana comparó seis perfilómetros ópticos de distintos fabricantes, y el perfilómetro Polytec demostró la máxima calidad tanto en el ensamblaje como en la medición. Esto se consigue gracias a diversas características, tales como:

  • Amplio campo de visión (FoV) en una sola toma → menos mosaicos y uniones, menor error acumulativo
  • Sofisticados algoritmos de unión → solapamiento controlado, registro robusto y fusión metrológicamente precisa que conserva los escalones y los bordes

El resultado es una topografía de gran superficie y alta fidelidad, con menos artefactos y residuos aptos para auditorías: lo que denominamos « True Stitching ».

Focus Finder & Focus Tracker - Cada medición, siempre a la perfección.

Un enfoque preciso es fundamental para la tecnología de medición de superficies.

  • Focus Finder (estándar): detecta automáticamente el punto de enfoque óptimo para reducir el tiempo de configuración
  • Focus Tracker (Micro.View+): mantiene la superficie enfocada durante el movimiento; ideal para la unión de imágenes y la automatización

Esto garantiza un enfoque estable en todas las mediciones, incluso en superficies irregulares o en movimiento.

Color View para comprender mejor las características de la superficie

Opción de hardware para mejorar las mediciones en 3D con una imagen en color de la superficie.

  • Identificación más sencilla de defectos o desgaste
  • Facilita la documentación y la elaboración de informes
Medición de una oblea de silicio con la función « Color View » activada (lado derecho)
Medición de una oblea de silicio con la función « Color View » activada (lado derecho)
Ensayo de rugosidad de superficie a escala subnanométrica con un amplio campo de visión

El campo de visión más amplio: hasta 15,5 x 11,7 mm

La nueva y exclusiva lente de 0,6x amplía literalmente su campo de visión: « Micro.View » permite analizar la rugosidad de superficie, la estructura superficial o las microestructuras en alta resolución utilizando los aumentos clásicos de 20x a 111x. Con un solo clic y el cambio automático a la lente de 0,6x, se consigue una transición fluida a mediciones de forma o de planicidad en áreas extensas. Examine microestructuras a gran escala sin necesidad de unir imágenes. Revela todos los detalles estructurales sin perder de vista los parámetros de forma, el alabeo o los desniveles en áreas extensas.

Motorización y automatización: para una mayor eficiencia en la planta de producción.

Micro.View+ Aporta una motorización completa para una flexibilidad y precisión de repetición máximas. Ideal para entornos de producción o tareas de medición recurrentes.

  • Revólver motorizado para hasta cinco objetivos codificados
  • Mesa motorizada en los ejes X, Y, Z y de inclinación/giro
  • Unión automática de imágenes para escaneos de alta resolución en áreas extensas
  • Sistema de recetas de control de calidad para secuencias de trabajo independientes del operario
CSI: interferometría de barrido de coherencia para una precisión máxima.

Micro.View Se basa en la tecnología CSI (también conocida como Interferometría de luz blanca), el estándar del sector para la tecnología de medición de superficies sin contacto y de área amplia. Escanea verticalmente una fuente de luz de banda ancha y analiza el Patrón de interferencia.

  • Evaluación de la envolvente: robusta en superficies rugosas y de bajo contraste
  • Evaluación de fases: resolución subnanométrica en muestras lisas y de planicidad alta
  • Análisis de correlograma: aprovechamiento completo del Patrón de interferencia para obtener la máxima robustez y precisión

Esto permite medir tanto ópticas pulidas como piezas técnicas con rugosidad con el mismo sistema.

CST – Rango Z completo de 100 mm sin perder resolución.

La tecnología de escaneo continuo (CST) transforma todo el rango de desplazamiento de 100 mm en un Rango Z útil con una resolución constante, independientemente de la lente.

  • Admite muestras grandes y altas sin necesidad de reposicionarlas
  • Mantiene la precisión de medición en todo el rango de medición
  • Reduce el esfuerzo de configuración y evita la necesidad de unir imágenes o reenfocar
ECT – Datos de superficie 3D fiables en el taller.

El ruido, las vibraciones y las fluctuaciones de temperatura pueden afectar a las mediciones. Nuestra tecnología de compensación ambiental (ECT) compensa estas perturbaciones y garantiza la coherencia de los datos, incluso en el taller.

  • Mejora la fiabilidad en entornos ruidosos o inestables
  • Permite la automatización y el control de calidad en línea sin necesidad de un aislamiento total
  • Resulta especialmente útil para componentes sensibles (por ejemplo, MEMS, capas finas)

ECT y CST

Compensación ambiental y Tecnología de escaneo continuo para facilitar las mediciones y permitir que se realicen de forma autónoma

Smart Scanning Technology

SST permite medir superficies reflectantes o mates

Escenarios versátiles

Mesa XY motorizada con un recorrido de hasta 200 x 200 mm.
. Función de inclinación y giro manual o motorizada.

Focus Tracker

Controla el enfoque cuando se utilizan plataformas de inclinación y giro para garantizar una resolución y una precisión de repetición óptimas.

Torreta Encoder

Revólver motorizado o manual, con Focus Finder y Focus Tracker.

100 mm en el eje ZRange

Rango Z de 100 mm (equivalente al rango de medición) con « Continous Scanning Technology » (CST).
La altura se puede ampliar con diferentes soportes.

Color View

La cámara de 1,9 MP proporciona imágenes en color de las muestras para facilitar una mejor visualización, por ejemplo, en la Detección de defectos.

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Datos técnicos

Configuración modular, características técnicas y opciones

Z Range
de 100 mm (posicionamiento y medición)
Resolución vertical0,01 nm
Precisión de repetición del valor cuadrático medio (RMS)0,05 nm
SaReflectividad simple0,05 a 100 %
Puntos de medición
píxeles X-Y
1.910.400 (píxeles efectivos)
1.592 x 1.200
Velocidad de mediciónHasta 100 µm/s
Unión de imágenesHasta 500 millones de puntos de datos
Parámetros ISOISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287, ISO 13565, ISO 21920

Micro.View+

Para muestras de gran tamaño, con la máxima flexibilidad y una Mesa motorizada XY de 200 x 200 mm.

Micro.View+C (compacto)

Dispositivo de sobremesa compacto con mesa motorizada XY de 75 x 75 mm o 100 x 100 mm.

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Esto le permitirá conocer con precisión el rendimiento del perfilómetro óptico con sus muestras reales.

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Micro.View Y « Pro.Surf » miden la rugosidad... ¿cuál es la diferencia?

Aunque Micro.View también permite realizar mediciones de forma, planicidad y altura de escalón, su principal punto fuerte reside en el análisis en 3D de alta resolución de la rugosidad de superficie y la estructura superficial.

El Pro.Surf+ adopta el enfoque inverso. Strse centra en la comprobación de la planicidad, el paralelismo y la forma, pero también puede realizar análisis de rugosidad de superficie con una resolución lateral de 2,6 µm.

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Empecemos con una breve charla sobre sus piezas, tolerancias y flujo de trabajo; y, si resulta útil, podemos añadir un estudio de viabilidad, un servicio de mediciones por encargo ( PolyMeasure ) o una prueba de PolyRent como siguientes pasos opcionales.

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