MSA-600 マイクロシステムアナライザ
オールインワンでMEMSの振動と形状を測定














オールインワンでMEMSの振動と形状を測定
MSA-600マイクロシステムアナライザは、MEMSモジュールおよびマイクロ構造の静的および動的3D特性評価のための世界唯一のオールインワン測定システムです。 このマイクロシステムアナライザーは、スキャニングレーザドップラ振動計、ストロボスコープビデオ顕微鏡、および白色光干渉計を備えた顕微鏡レンズを組み込むことにより、振動微細構造およびその形状を幅広く分析するのに理想的なオールインワンソリューションを提供します。共振周波数を迅速に特定し、関連する振動形状を可視化することができます。過渡現象でさえも高い信頼性をもって明確に可視化できます。
MEMSおよびマイクロ構造解析のための貴重なツール
広帯域で加振すると、コンポーネントに関する事前情報を必要とせずに、単一パスですべての機械的共振(面内および面外)を迅速に識別できます。 そこで高感度スキャニングレーザドップラ振動計を使用して、フルフィールドスキャンを実行すれば、25 MHzまでの帯域幅で構造ダイナミクス(面外)の測定結果を得ることができます。 面内振動については、ストロボスコープビデオ顕微鏡を使用すれば測定可能です。
一般的なプローブステーションと互換性のあるマイクロシステムアナライザは、MEMSの試作品作成から測定およびトラブルシューティングまで、開発のあらゆる段階で利用でき、生産コストを削減し、市場投入までの時間を短縮します。
- マイクロストラクチャのためのオールインワン光学測定ワークステーション
- リアルタイム測定(後処理不要)
- サブピコメートル変位分解能
- 振動形状のすばやい測定と可視化
- 直観的かつ直感的な操作
- MEMSプローブステーションとの統合が容易
- FEモデル検証のためのインポート/エクスポートオプション
Wafer-Level and Single-Die Testing
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