MSA-600 マイクロシステムアナライザ

オールインワンでMEMSの振動と形状を測定

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Full-field vibration analysis of a combdrive at 6800 Hz
Areal surface topography of a combdrive determining flatness, step heights, parallelism
Vibration measurement of the in-plane motion of a MEMS combdrive

オールインワンでMEMSの振動と形状を測定

MSA-600マイクロシステムアナライザは、MEMSモジュールおよびマイクロ構造の静的および動的3D特性評価のための世界唯一のオールインワン測定システムです。 このマイクロシステムアナライザーは、スキャニングレーザドップラ振動計、ストロボスコープビデオ顕微鏡、および白色光干渉計を備えた顕微鏡レンズを組み込むことにより、振動微細構造およびその形状を幅広く分析するのに理想的なオールインワンソリューションを提供します。共振周波数を迅速に特定し、関連する振動形状を可視化することができます。過渡現象でさえも高い信頼性をもって明確に可視化できます。

MEMSおよびマイクロ構造解析のための貴重なツール

広帯域で加振すると、コンポーネントに関する事前情報を必要とせずに、単一パスですべての機械的共振（面内および面外）を迅速に識別できます。 そこで高感度スキャニングレーザドップラ振動計を使用して、フルフィールドスキャンを実行すれば、25 MHzまでの帯域幅で構造ダイナミクス（面外）の測定結果を得ることができます。 面内振動については、ストロボスコープビデオ顕微鏡を使用すれば測定可能です。

一般的なプローブステーションと互換性のあるマイクロシステムアナライザは、MEMSの試作品作成から測定およびトラブルシューティングまで、開発のあらゆる段階で利用でき、生産コストを削減し、市場投入までの時間を短縮します。

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