主な用途
ポリテックの非接触表面粗さ・形状測定機の主な使用用途は以下のとおりです。
- 圧力や漏れに関わる、平坦度、粗さ、うねりなど、非常に詳細なシーリング表面の形状偏差を、マイクロスケールやナノスケールで検証
- 大型の測定物(測定面積 最大200 x 200 mm)
- 粗さとうねりに関する多数のISOパラメータを提供する表面仕上げの評価
- 材料比曲線を用いた摩擦面の耐摩耗性評価
- アルミニウム合金板材のリジングなど、表面仕上げ品質の評価
- 電子基板や回路などの機能的表面の望ましくない反りの検出
- 最大70mmまでの大きな段差のある表面の段差高さと平行度の測定
- テレセントリック光学設計により、アクセスが困難な場所や窪み、穴などの深い凹部の表面検査が可能
特長
- 使用頻度により計測/レンタルサービスを利用することでコスト削減
- 1µm以下のMEMS等のマイクロ構造物から大型精密メカニクスまで、非接触でトレーサブルな測定が可能
- 段差、平行度、平坦度、粗さなどの形状パラメータを非接触で高精度に測定
- ご要望に応じて、マイクロシステムやMEMSを検査するための防振テストセットアップも可能
- 測定原理上、電磁場でも機能し、生体試料を含むあらゆる物質で測定可能