Caracterización de la topografía y la dinámica de las microestructuras
Las microestructuras son estructuras muy pequeñas, a menudo difíciles de ver a simple vista. Durante el desarrollo y la producción de microsistemas y MEMS, la inspección de la topografía permite comprobar que se respeten las tolerancias dimensionales definidas y la calidad. Entre los ejemplos típicos se incluyen los giroscopios, los sensores de presión, los sensores de aceleración, las bombas micromecánicas y otros.
El funcionamiento de este tipo de superficies puede verse afectado por pequeños cambios físicos o defectos a escala micrométrica y nanométrica. Por lo tanto, la inspección de superficies de alta resolución es un aspecto importante de la caracterización de superficies en el campo de la tecnología de microsistemas.
Medición de superficies de microestructuras
La medición de microestructuras requiere sistemas sin contacto con alta resolución, capacidad de enfoque y puntos de enfoque estrechos (ROI, regiones de interés). Con un perfilómetro de alta precisión, como el interferómetro de luz blanca Micro.View, se pueden analizar y documentar de forma fiable la profundidad de los canales en los Lab on a chip, la altura de escaló en los embalajes MEMS, la planicidad de los sensores de presión MEMS y mucho más.
Para realizar mediciones dinámicas fuera del plano y en el plano en filtros de RF con el fin de determinar frecuencias de resonancia del orden de los MHz, se pueden utilizar vibrómetros. Por ejemplo, con los vibrómetros MSA de Polytec, que permiten incluso analizar el comportamiento dinámico de los MEMS encapsulados en un embalaje SI.
Micro.View para la medición de superficies en microestructuras
Descubra los perfilómetros de superficies 3D de alta precisión, que utilizan Interferometría de luz blanca para obtener una resolución nanométrica y flujos de trabajo automatizados.
Vibrómetros MSA para comprender el comportamiento dinámico
Valida la dinámica y la topografía de los microsistemas de forma fiable y con la máxima precisión, ya sea en el rango de los kilohercios, en varios megahercios o hasta el rango de los gigahercios.
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Empecemos con una breve charla sobre sus piezas, tolerancias y flujo de trabajo; y, si resulta útil, podemos añadir un estudio de viabilidad, un servicio de mediciones por encargo ( PolyMeasure ) o una prueba de PolyRent como siguientes pasos opcionales.
