非接触 表面平坦度の測定

光学部品やガラス部品の表面平坦度の測定は、精密機械において非常に重要です。精密機械において、光学部品やガラス部品はその機能を発現する核を担っているからです。ポリテックは、多様な分野の平坦度を確実に検査するための光学計測・検査ソリューションを提供します。TopMap 非接触表面粗さ・形状測定機シリーズは、白色光干渉計であり、広い測定視野でエリア全体の表面平坦度を非接触で高速測定し、ナノメートル、さらにはサブナノメートルの領域まで精度の高い 3D データを収集することが可能です。TopMap 非接触表面粗さ・形状測定機は、平坦度や平行度などの形状パラメータを測定するための高精度測定ツールであり、測定室内または生産現場での品質管理に使用されています。TopMap 非接触表面粗さ・形状測定機は、選択したポイントの高さデータをリアルタイムで連続的に記録し、大きなサンプル領域の正確な平坦度表現を実現します。このような表面平坦度測定は、製品の品質を高く保ち、後の欠陥、故障、修理のコストを削減します。

平坦度の非接触測定デモを実施しています


 

表面平坦度の測定 – 接触式 と 非接触式、どちらが有効か

測定事例として、ミラーホルダーをあげます。ミラーホルダーは、機能面を持つワークと複雑な構造を有する精密加工品であり、表面平坦度は重要な形状パラメータです。狭い部分は製造中や製造後にねじれたり歪んだりすることがあります。この歪みの影響で、取り付け面が移動し、ミラーの位置がずれてしまうことがあります。また取り付け面の平坦度が限界値を下回ると、ミラーの位置がずれてしまい、正常に動作しなくなることもあります。

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表面平坦度に基づく信頼性の高い良品判定

取り付け面は非常に複雑で、比較的狭く、部分的に凹んだ構造をしています。表面のごく一部しか触針の先端が届かないため、接触式の測定器では表面の平坦度を判断することは不可能でした。一方、TopMap 非接触表面粗さ・形状測定機は、特定の形状の制約を受けずに測定できるため、信頼性の高い良品判定を行うことができます。

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