クロマティック共焦技術

クロマティック共焦点センサTopSensはクロマティック共焦原理を用いて距離と厚さを非接触で測定するセンサです。クロマティック共焦光学系とは、測定光の焦点位置に測定面があるとき、測定面からの反射光の焦点位置が検出器上になるよう設計された光学系であるため、ほぼ全ての反射光がピンホールを通過し検出器に到達します。この原理により、高い分解能と、信頼性、再現性を実現しています。

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