ストロボスコープビデオ顕微鏡

ストロボスコープビデオ顕微鏡(SVM)は、短時間の光を用いて急激な動きを可視化するシステムであり、コンポーネントレベルでの高周波振動を視覚化できます。

時間分解能は、LEDストロボのフラッシュパルス幅によって決定されます。時間分解能が高いとカメラが非常に高速な動きをよりはっきりと記録することができます。ストロボがオフの場合、CCDセンサは画像をキャプチャすることができません。ストロボがオンになり選択された移動フェーズ中にのみ光が記録されます。また、カメラの最短露光時間。サンプルを振動させる励起信号、カメラの露光時間は、正確に同期されなければなりません。下の画像は、周期的な振動する測定物の2つの異なるフェーズ中の2つのカメラショットの例を取って、PMAソフトウェアを同期させるための時間ダイアグラムを示しています。

レーザードップラー振動計との組み合わせ

SVMとLDVの組み合わせシステムを使用して、XYZ空間における全方向に振動する測定物の機械的共振を測定できます。

レーザドップラ振動計のレーザビームとストロボ光は、ビームスプリッタユニットを用いて一体型顕微鏡レンズのビーム経路に結合される。 コンピュータは、信号発生器および振動計コントローラと協働して、レーザビームの動き(スキャニングLDV)、ストロボ照明、干渉信号およびカメラ画像の処理、および必要に応じて試料励起も制御します。 測定結果は、高性能システムソフトウェアを使用して最終的に評価され、グラフィック表示されます。

組み合わされた方法は、マイクロメカニカルコンポーネント(MEMS)の特徴付けに関して特に重要です。

 

Basic priciples of laser doppler vibrometry

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