FEMの検証

コンピュータシミュレーションはMEMSコンポーネントの開発において必要不可欠です。 FEシミュレーションモデルは、実験データとの比較を通じて最適化されます。非接触の光学測定技術は、機械的特性評価を高精度に実現できます。

ポリテックのレーザドップラ振動計は、MEMSコンポーネント内のマイクロストラクチャの機械的な動きを素早く、簡単に、非接触で検出し、解析結果と測定データを比較するのに最適です。

たとえばMEMSウェハプローブステーションと統合することによって、単一単位またはウェハレベルで測定することができます。