White-light interferometry as areal, optical 3D measurement technology

白色干渉計は、測定物からの反射光と参照光が重ね合わされたときに発生する干渉縞を利用しています。

測定原理は、マイクロレンジのコヒーレンス長を有する光源を含む光学系(画像)をもつマイケルソン干渉計の原理に基づいています。まず白色光ビームは、ビームスプリッタで測定ビームと参照ビームに分割されます。測定ビームは、測定物に照射され、参照ビームは参照用ミラーに照射されます。それぞれの反射光はカメラにおいて再結像ます。

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白色光干渉計(コヒーレンススキャニング干渉計)の基本原理ビデオ

測定アーム上の測定ポイントへの光路長が、参照アーム上の光路長と同じとき、光源のスペクトルのすべての波長に干渉による強め合いが起こり、その測定ポイントのカメラピクセルの明暗度は高くなります。2つの光路長が異なるときは、カメラピクセルの明暗度は大幅に低下します。 その結果、カメラは2つの光路長が等しい測定ポイントのみを記録します。

テレセントリック光学系を有する測定機器を使用すると、単一のパスで迅速に広い範囲の表面形状を測定することができます。マイケルソン干渉計がベースの顕微鏡システムは高い横分解能を必要とする測定に適しています。

視野に依存しない垂直解像度

白色光干渉法(コヒーレンススキャニング干渉法)の面測定法では、垂直分解能は選択した対物レンズに依存しません。白色光干渉法は、分解能が視野に依存しない唯一の測定方法です。

白色光干渉計製品を見る

 

技術ガイド:光学表面形状測定アプローチの長所と短所を比較する

これら4つの一般的な表面測定法の長所と限界について、垂直方向と横方向の分解能、平滑面のスイートスポット、粗さ測定、スティッチングの有無など、技術比較で詳しくご覧ください。

  • 白色光干渉法 
  • 共焦点顕微鏡 
  • 焦点変動 
  • クロマチック共焦点センサー 

ポリテックマガジン(デジタルマガジン)

"Optical surface metrology complements tactile measurement techniques"
Prof. Dr. Albert Weckenmann about optical and tactile surface measurement

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非接触 表面粗さ・形状測定機 - 製品詳細

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