MEMSのダイナミクスと形状の測定
ポリテックの多彩な表面測定システムを使用して、マイクロ / ナノテクノロジー分野の迅速かつ精度の高い測定を確実に実行することができます。
ラボオンチップのチャンネルの深さ、MEMSパッケージの段差、圧力センサの平坦度など、表面パラメータを使ってMEMSを分析することができます。
ポリテックのマイクロシステムアナライザシリーズを使用して、MHzの共振周波数を特定するためにRFフィルタの動的な面外振動と面内振動の測定を簡単に行うことができます。
複雑ラボ開発の前進を担う
マイクロ流体ラボオンチップシステム、略して「LOC」は マイクロスペースを利用してさまざまな現象を発生させるシステムです。例えば、ポリテックの製品を使用して、マイクロ流路の寸法や深さを検査したり、チップ全体の平坦性を特定することができます。ポリテックはどんなLOCアプリケーションにも対応可能な柔軟で高分解能のソリューションを提供しています。
TopMap Pro.Surfは一回の測定で広範囲の測定が可能でLOCの全チャネルの深さを高いZ軸分解能で測定できます。平行なビーム光路を備えたテレセントリックな光学系を有するため、陰影なしのほぼ完全チャネルベースを測定することができます。
TopMap µ.Labは異なる測定用件に対応するため、Z軸分解能はそのままで、対物レンズを変更することによって、平面分解能を迅速かつ容易に適応させます。
TopSensシリーズは、高速かつ手頃な価格で、ラインプロファイルを測定できるため、関連する製造パラメータをランダムに検査することができます。
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マイクロシステムの信頼性の高い迅速な最適化
加速度計、圧力センサ、RFフィルタ、ラボオンチップ、ジャイロスコープなどのMEMS（microelectromechanical systems）の測定には、シンプルでスピーディな操作性と精度を備えたポリテックの製品が適切です。段差や平行度、平坦度および形状などを分析することができます。
マイクロストラクチャの測定は。優れた平面および垂直分解能を有するTMS-1200顕微鏡システムが最適です。MEMSやセンサパッケージの特性評価には、優れたz軸分解能が特長のTMS-500 TopMap Pro.SurfまたはTMS-350 TopMap In.Lineが適しています。静的特性評価だけでは不十分な場合は、面内および面外振動の共振モードを測定できるMSA-500マイクロシステムアナライザで動的特性を評価することができます。
クロマティック共焦点センサTopSensは、異なる材料を非常に高精度に測定するような用途の幅広いアプリケーションにおいて使用することができます。ポイントセンサは、特に工業プロセスで使用するために開発されたため、既存のアプリケーションに迅速かつ容易に統合することができます。
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TopMap In.Line
異なる反射条件の面の測定が可能です。コンパクト設計のため生産ラインに容易に組み込むことができます。チェックを行って意味します。段差、大きなリップルなどさまざまな表面構造であっても測定できます。
垂直電気探査分析
「垂直相互接続」または「VIA（vertical interconnect accesses）」と呼ばれる垂直電気接続は主に高密度集積スイッチング回路で搭載されており、アスペクト比の高い構造です。特にのSi貫通電極（through-silicon via、TSV）は、半導体セグメントにおいて確立した技術となってきています。
ポリテックの表面形状測定システムを使用すると、簡単に、自動的にかつ確実にエッチング深さ、距離および表面パラメータを確認することができます。クロマティック共焦点センサTopSensと顕微鏡型白色光干渉計TMS-1200 TopMapμ.Labは、研究室および生産ラインの両方において、多彩な測定要件に応えることができます。
