MEMSや微細構造物の動的応答と表面粗さ・形状の測定

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)などの微細構造デバイスの試験や開発において、表面形状や動的運動の解析と可視化は重要な役割を担っています。MSA-600マイクロシステムアナライザは、表面形状や面内・面外運動の特性を測定するためのオールインワン光学測定ワークステーションで、FEモデルの検証、クロストーク効果の判定、表面変形の測定などに不可欠な装置です。

MSA-600-M/Vは、最大25 MHzの周波数範囲をカバーし、MEMS、MEMSマイクロホン、その他のマイクロシステムに最適です。MSA-600-X/Uは、2.5 GHzまでの高周波および超高周波領域に対応し、高周波MEMS共振器やSAW、BAWなどのマイクロアコースティックデバイスの評価に最適なバージョンです。

MSA-600-Sは、6GHzのリアルタイム振動解析と表面形状解析に特化した光学測定ワークステーションです。FBAR(フィルムバルク音響共振器)、BAW(バルク音響波)フィルタ、SAW(表面弾性波)デバイスなどのGHz帯MEMSのテストに最適です。

特長

  • マイクロストラクチャのためのオールインワン光学測定ワークステーション
  • リアルタイム測定(後処理不要)
  • 測定周波数帯域 最大 25 MHz(MSA-600-M / V)
  • 測定周波数帯域 最大 2.5 GHz(MSA-600-X / U)
  • 測定周波数帯域 最大 6 GHz(MSA-600-S)
  • サブピコメートル変位分解能
  • 振動形状のすばやい測定と可視化
  • 直観的かつ直感的な操作
  • MEMSプローブステーションとの統合が容易
  • FEモデル検証のためのインポート/エクスポートオプション

MEMSおよびマイクロ構造解析のためのオールインワン光学測定ソリューション

MSA-600 マイクロシステムアナライザは、測定の柔軟性と精度を高め、現在および将来の微細構造のニーズに対応します。マイクロシステムアナライザは、高精度な3Dダイナミックおよびスタティック応答データを提供し、デバイスの性能を向上させるとともに、開発および製造コストを削減します。そのため、設計サイクルの強化・短縮、トラブルシューティングの簡略化、歩留まりの向上が図れます。

高性能レーザドップラ振動計は、サブ pm の変位分解能で高速かつリアルタイムの応答計測を実現します。また、白色光干渉計のオプションにより、数百万単位の 3D 表面データを瞬時に取得できます。MSA-600 は、わかりやすい操作性と直感的なユーザーインターフェースにより、研究開発および品質管理における強力な光学計測ソリューションとしてご利用いただけます。一般的なプローブステーションと互換性のあるこのマイクロシステムアナライザは、MEMSのプロトタイピングからテスト、トラブルシューティングまで、開発のあらゆる段階をサポートし、生産コストの削減と市場投入までの時間の短縮を支援します。

GHz帯MEMSに特化した6GHz帯テストソリューション

MSA-600-Sは、6GHzまでの振動解析と表面性状評価を可能にした、世界初の専用光学測定ワークステーションです。GHz帯デバイスの開発、形状パラメータ評価のための品質管理、デバイスの性能・信頼性試験などにご利用ください。FBAR(フィルムバルク音響共振器)などの高周波デバイスや、GHz帯の共振器、デバイスの試験が可能です。

ウェハレベルおよびシングルダイのテスト

アクセサリーとコンポーネント

光学アクセサリ

Bright field objectives for Polytec Micro System Analyzers
Bright field objectives for Polytec Micro System Analyzers

A-MOB-xxxx Bright Field Objectives

面外および面内の振動測定に。倍率は以下の通りです。1倍、2倍、5倍、10倍、20倍、50倍、100倍、3.6倍、10倍と広い作業距離に対応しています。

三脚、テストスタンド、ポジショニングステージ

Portal stand for MSA Micro System Analyzer and TopMap 3D surface profiler
Portal stand for MSA Micro System Analyzer and TopMap 3D surface profiler

A-STD-TST-01 Test Stand

広々とした作業スペースを確保できるテストスタンド。電動Z軸付き、移動範囲200mm。

A-STD-BAS-02 Base Stand

センサヘッドを強固にサポートします。移動距離100mm、粗動・微動付きのマニュアルフォーカスブロックを装備。市販の光学台と接続可能。

Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-STD-F50 Focus Block

移動範囲50mm。センサヘッドを手動でZ軸方向に調整するための粗動・微動ドライブ付き。市販のウェハプローバとの接続が可能。

除振台

Active vibration isolation table
Active vibration isolation table

A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table

アクティブなレベル調整が可能なエアダンピング除振台。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

Active electronically controlled vibration isolation table
Active electronically controlled vibration isolation table

A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table

電子制御によるボイスコイルの安定化により、最高のアイソレーション性能を実現。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec
Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec

A-BBO-ME02 Breadboard

台の大きさは900mm x 600mmで穴が開いています。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard

電子制御で最高の防振性能を発揮します。メートル単位での穴あけが可能です。台の大きさは600×800mm。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

その他

Signal generator for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
Signal generator for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers

A-ESG-001 External Signal Generator

高周波、広帯域のサンプルの励起するためのシグナルジェネレータ。PSV Softwareによるリモートコントロール付き。

Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer
Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer

A-SPK-0008 Wafer Prober Module

ウェーハプローバモジュールは、A-PST-200P XYポジショニングステージと合わせて、直径200mmまでのウェーハや基板を電気的に接触させ、高精度に測定するための電動プラットフォームを形成します。

Vacuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
Vacuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers

A-SPK-0010 Vacuum Prober Module

真空・パージライン。4つの電気プローブを扱うためのマイクロマニピュレータ。


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