MSA-600 マイクロシステムアナライザ

オールインワンでMEMSの振動と形状を測定

MEMSの3Dダイナミクスとトポグラフィ測定

MEMSデバイス(Micro-Electro-Mechanical Systems)などのマイクロストラクチャのテストと開発には、表面トポグラフィとダイナミックモーション解析とビジュアライゼーションが重要です。 それらは、FEモデルの検証、クロストーク効果の測定、表面変形の測定に不可欠です。

MEMS用オールインワン光学測定システム

MSA-600マイクロシステムアナライザは、表面トポグラフィ、面内および面外振動を測定するオールインワンの光学測定ワークステーションです。 この計測器は、今日および将来のマイクロストラクチャのニーズに対応し得る測定の柔軟性と精度を持ち合わせています。またMSA-600で測定されたMEMSやマイクロストラクチャの静的および動的な3D特性データは製品品質の向上や開発コストと製造コストの削減に貢献、さらに、設計サイクルを短縮し、トラブルシューティングを容易にし、歩留まりを向上させます。

MSA-600 は、サブピコメートルの変位分解能で高速なリアルタイム振動測定を実現し、また、数百万の3D形状データを数秒で測定します。 また、直感的な操作と直観的なユーザーインターフェイスを有し、研究・開発(R&D)および品質管理(QC)における強力な光学測定システムです。 一般的なプローブステーションと互換性のある MSA-600 は、MEMSの試作からテストおよびトラブルシューティングに至るまで、開発のあらゆる段階でお客様をサポートし、生産コストを削減し、市場投入までの時間を短縮します。

Wafer-Level and Single-Die Testing

関連商品

Polytec MSA-050 Micro System Analyzer

MSA-050マイクロシステムアナライザ

顕微鏡型振動計のエントリモデルです。小さな部品やマイクロシステムの振動を面全体で高精度に測定できます。

Polytec MSA-100-3D Micro System Analyzer

MSA-100-3D マイクロシステムアナライザ

3D振動を一度に測定できるため、面内振動成分と面外振動成分の両方について、サブピコメータの変位分解能を備えた高分解能3D振動解析が可能になります。

Polytec UHF-120 Ultra High Frequency Vibrometer

UHF-120超高周波振動計

超高周波振動計を使用すると、最大2.4GHzの面外振動を解析することができます。