MSA-100-3D マイクロシステムアナライザ

微細構造上の振動を3Dおよびリアルタイムで測定

微細構造上の振動を3Dおよびリアルタイムで測定

実際の物体の振動は通常3次元です。3つの空間方向のうち最も支配的な振動方向はありますが、他の方向の微小な振動成分が製品の公差やその他に影響することがあります。 MSA-100-3Dマイクロシステムアナライザを使用すると、広い周波数帯域幅におけるサンプルの動的動作をリアルタイムに分析できます。 3つの空間方向すべての振動成分が、サブピコメートルの高い変位分解能で同時に測定され、統合データとして記録、分析されます。

ポリテックMSA-100-3Dは、微視的なレーザースポットと25MHzまでの周波数帯域幅による高い横分解能とともに、微小電気機械センサーとアクチュエーター(MEMS)や他の微細構造を特徴付ける理想的な測定装置です。 フルフィールドのキャラクタライゼーションのために、MSA-100-3Dは、ソフトウェアでサンプルをスキャンさせてから、偏向形状をグラフィカルに表現することによって、全面にわたってサンプルを解析します。

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