簡単で効率的なモデルの検証

コンピュータシミュレーションはMEMSコンポーネントの開発において必要不可欠です。 FEシミュレーションモデルは、実験データとの比較を通じて最適化されます。非接触の光学測定技術は、機械的特性評価を高精度に実現できます。

ポリテックのレーザドップラ振動計は、MEMSコンポーネント内のマイクロストラクチャの機械的な動きを素早く、簡単に、非接触で検出し、解析結果と測定データを比較するのに最適です。

たとえばMEMSウェハプローブステーションと統合することによって、単一単位またはウェハレベルで測定することができます。

マイクロミラーアレイのモデル検証

広い周波数帯域と優れた変位分解能はポリテックの振動計の特長のひとつです。モデルを検証し、最適化するために必要な伝達関数を簡単かつ効率的に測定することができます。

Microstructure characterization

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