微細構造上の振動を3Dおよびリアルタイムで測定

実際の物体の振動は通常3次元です。3つの空間方向のうち最も支配的な振動方向はありますが、他の方向の微小な振動成分が製品の公差やその他に影響することがあります。 MSA-100-3Dマイクロシステムアナライザを使用すると、広い周波数帯域幅におけるサンプルの動的動作をリアルタイムに分析できます。 3つの空間方向すべての振動成分が、サブピコメートルの高い変位分解能で同時に測定され、統合データとして記録、分析されます。

概要

  • 最大25MHzの高周波数帯域におけるリアルタイム振動測定
  • サブピコメートルの変位分解能を実現する面外および面内振動測定
  • シングルポイント測定とフルフィールド測定の両方が可能
  • 高い平面分解能を実現する4μm以下の小さなレーザースポット
  • 38 mmの広い測定距離
  • 一般的なMEMSプローブステーションとの互換性

ポリテックMSA-100-3Dは、微視的なレーザースポットと25MHzまでの周波数帯域幅による高い横分解能とともに、微小電気機械センサーとアクチュエーター(MEMS)や他の微細構造を特徴付ける理想的な測定装置です。 フルフィールドのキャラクタライゼーションのために、MSA-100-3Dは、ソフトウェアでサンプルをスキャンさせてから、偏向形状をグラフィカルに表現することによって、全面にわたってサンプルを解析します。

Accessories and components

Tripods, test stands, positioning stages

A-STD-TST-01 Test Stand

Test stand providing ample workspace. With motorized z-axis, travel range 200 mm.

A-STD-BAS-02 Base Stand

Rigid support for the sensor head. Includes manual focus block with 100 mm travel range with coarse and fine drive. Interfaces to commercially available optical tables.

A-STD-F50 Focus Block

Travel Range 50 mm. With coarse and fine drive for manual z-axis adjustment of the sensor head. Interfaces with commercially available wafer probe stations.

Vibration isolation, breadboards

A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table

Air-damped vibration isolation table with active level adjustment. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table

Electronically controlled voice coil stabilization for highest isolation performance. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-WST-001 Workstation

Workstation for use with Polytec's A-TAB-AIR-01 and A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Tables.

A-BBO-ME02 Breadboard

Breadboard with metric hole pattern. Footprint 900 mm x 600 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard

Electronically controlled for highest vibration isolation performance. With metric hole pattern. Footprint 600 x 800 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.


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