MEMS特性評価のための革新的なソリューション

ポリテックのマイクロシステムアナライザは、MEMSのダイナミクスと形状の両方を測定することができる理想的な顕微鏡型システムです。

MEMSなどの電子デバイスは、電気テストで、デバイスが動作しているかどうかは証明できますが、デバイスがどう動作しているか、その正確な動きを見るには、レーザドップラ振動計しか手段がありません。また、小型軽量化、高周波駆動化する昨今では、非接触計測が可能で、かつ、高周波帯域でも、ナノピコ分解能で高精度に振動変位を計測できるレーザドップラ振動計は、必須のテスティングツールであると言えます。

MSA-050マイクロシステムアナライザ

顕微鏡型振動計のエントリモデルです。小さな部品やマイクロシステムの振動を面全体で高精度に測定できます。

MSA-600 マイクロシステムアナライザ

MEMSやマイクロ構造の静的または動的な3D特性評価のための世界唯一のオールインワン測定システムです。市販のプローブステーションと組み合わせると、ウェハレベルでのMEMSの測定も実行できます。

MSA-100-3D マイクロシステムアナライザ

3D振動を一度に測定できるため、面内振動成分と面外振動成分の両方について、サブピコメータの変位分解能を備えた高分解能3D振動解析が可能になります。