マイクロテクノロジーとナノテクノロジーにおける信頼できるセンサ

最近マイクロセンサは安全を守るためのツールや部品として応用されています。そのため、その開発や製造においては、安全性と信頼性を満たす堅牢な設計と高い精度が求められています。マイクロデバイスの品質を決定し維持するためには、正確で信頼性が高くスピーディな測定技術は、重要な役割を果たします。

MEMSアクチュエータやMEMSセンサなどは、電気的特性評価だけではなく、動的特性評価が必要です。

ポリテックのマイクロシステムアナライザは、レーザドップラの原理を用いてMHz帯域(さらにはGHz帯域)の高い測定周波数帯域においても優れた変位分解能で動的な測定が可能です。さらに、高解像度な表面形状測定を行う機能も備えており、マイクロテクノロジーアプリケーションのさまざまなニーズに応えることができる最適な測定ツールです。