MEMS特性評価のための革新的なソリューション

ポリテックのマイクロシステムアナライザは、MEMSのダイナミクスと形状を測定するため理想的な顕微鏡型システムで、静的または動的にMEMSモジュールや繊細な微細構造を特定したり、表面をマッピングしたりできます。

MSA-050マイクロシステムアナライザ

顕微鏡型振動計のエントリモデルです。小さな部品やマイクロシステムの振動を面全体で高精度に測定できます。

UHF-120超高周波振動計

超高周波振動計を使用すると、最大2.4GHzの面外振動を解析することができます。

MSA-600 マイクロシステムアナライザ

MEMSやマイクロストラクチャの静的および動的な3D特性評価のための世界唯一のオールインワン測定システムです。市販のプローブステーションと組み合わせると、ウエハレベルでの測定も実行でき、開発部門やQC部門でお役立ていただけます。

MSA-100-3D マイクロシステムアナライザ

3D振動を一度に測定できるため、面内振動成分と面外振動成分の両方について、サブピコメータの変位分解能を備えた高分解能3D振動解析が可能になります。