Analyseur de microstructures MSA-500

Saisir des vibrations et une topographie de surface sur les MEMS

Saisir des vibrations et une topographie de surface sur les MEMS

L'analyseur de microstructures MSA-500 est l'unique système de mesure tout-en-un au monde pour la caractérisation 3D statique et dynamique de composants MEMS. Par l'intégration d'une optique de microscope avec vibrométrie laser à balayage, vidéo-microscopie stroboscopique et interférométrie de lumière blanche, cet analyseur de microstructures fournit la solution tout-en-un optimale pour analyser de manière exhaustive des vibrations et la topographie de surface. Identifiez rapidement des fréquences de résonance et visualisez clairement de manière sécurisée les modes de vibrations associés et les phénomènes transitoires.

Votre outil premium pour les microstructures

Pour une excitation à large bande, déterminez en un tour de main à l'aide du vibromètre laser toutes les résonances mécaniques (dans le plan et hors plan) en une seule mesure, sans information préliminaire sur l'élément. Explorez par balayage la surface complète des éléments microscopiques, sans contact et obtenez des résultats de mesure précis de la dynamique des structures (hors plan) pour des bandes passantes allant jusqu'à 24MHz. Si vous souhaitez examiner de plus près le comportement vibratoire dans le plan, revenez simplement à la deuxième étape, la vidéo-microscopie stroboscopique pour obtenir des informations sur les amplitudes et les phases.

Compatible avec les stations de diagnostic courantes, l'analyseur de microstructures vous accompagne dans toutes les phases de développement de MEMS, du test et à la recherche d'erreurs et permet ainsi de réduire les coûts du produit et le temps de mise sur le marché. Pour sa technique novatrice, l'analyseur de microstructures MSA-500 Polytec a reçu l'Innovation Award pour capteur en 2005 et le Photonics Circle of Excellence.

Wafer-Level and Single-Die Testing

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