Solutions innovantes pour la caractérisation de MEMS

Inspiré par l’augmentation rapide des domaines d'utilisation et par la diversité des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS), Polytec présente une gamme de systèmes sous microscope pour la caractérisation dynamique et la mesure de topographie de MEMS. Ces vibromètres laser sous microscope sont adaptés aux applications de caractérisation statique ou dynamique des composants MEMS, des microstructures sensibles ou à la description de leurs surfaces.

Analyseur de microstructures MSA-050

Le vibromètre sous microscope d’entrée de gamme permet de saisir des vibrations sur l’ensemble de la surface de petits éléments et de microstructures. Il fonctionne parfaitement sans contact et mesure la de petits objets avec une extrême précision.

Analyseur de microstructures MSA-500

L'unique système de mesure tout-en-un au monde pour la caractérisation 3D statique et dynamique de composants MEMS. Combinez les systèmes de mesure sous microscope de Polytec aux stations de diagnostic disponibles dans le commerce pour exécuter des processus de tests pour MEMS, au niveau des wafers.

Analyseur de microstructures 3D MSA-100

L'analyseur de microstructures saisit simultanément des composantes vibratoires dans les trois directions spatiales. Il permet l'analyse 3D de vibrations haute résolution avec une résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre pour des composantes vibratoires dans le plan et hors plan.

Vibromètre ultra haute fréquence UHF-120

Le vibromètre ultra haute fréquence permet d'analyser des vibrations allant jusqu'à 2,4 GHz et de capturer des phénomènes éphémères en temps-réel.