Solutions innovantes pour la caractérisation de MEMS

Inspiré par l’augmentation rapide des domaines d'utilisation et par la diversité des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS), Polytec présente une gamme de systèmes sous microscope pour la caractérisation dynamique et la mesure de topographie de MEMS. Ces vibromètres laser sous microscope sont adaptés aux applications de caractérisation statique ou dynamique des composants MEMS, des microstructures sensibles ou à la description de leurs surfaces.

Analyseur de microstructures MSA-600

Système de mesure tout-en-un pour la caractérisation 3D statique et dynamique des MEMS et des microstructures. Le MSA-600 améliore les processus de développement et de contrôle qualité. Intégré aux stations sous pointes disponibles dans le commerce, il permet des tests au niveau des wafer.

MSA IRIS Measurement Service

Cette toute nouvelle technologie de mesure brevetée permet une analyse complète et représentative des MEMS encapsulés en Si, en mesurant la dynamique à travers les bouchons en silicone. Nos PolyXperts sont impatients de recevoir vos échantillons pour des tests modaux, des études de faisabilité et vous conseiller à toutes les phases, du développement au prototypage en passant par la fabrication de vos microstructures encapsulées.

Analyseur de microstructures 3D MSA-100

L'analyseur de microstructures saisit simultanément des composantes vibratoires dans les trois directions spatiales. Il permet l'analyse 3D de vibrations haute résolution avec une résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre pour des composantes vibratoires dans le plan et hors plan.

Analyseur de microstructures MSA-050

Le vibromètre sous microscope d’entrée de gamme permet de saisir des vibrations sur l’ensemble de la surface de petits éléments et de microstructures. Il fonctionne parfaitement sans contact et mesure la de petits objets avec une extrême précision.