Capteurs fiables dans la micro technologie et la nanotechnologie

Pour développer et fabriquer des microsystèmes, une technique de mesure précise, fiable et rapide est essentielle pour la caractérisation et le contrôle de la qualité des composants. Ceci est d'autant plus important que les micros capteurs doivent assumer des tâches essentielles en matière de sécurité, avec des exigences élevées en termes de fiabilité et de sûreté de fonctionnement. La robustesse du design et l'extrême précision de la fabrication jouent à ce titre un rôle majeur.

Des composants actifs micros-électro-mécaniques tels que des actionneurs MEMS (micros système électromécanique) ou des capteurs nécessitent des procédés de mesure optiques appropriés, une caractérisation purement électrique ne suffisant pas.

À cet effet, les analyseurs de micro système de Polytec sont parfaits ; ils permettent d'une part de déterminer la topographie de surface à haute résolution et d'autre part, de caractériser avec précision le comportement de mouvement dynamique également. La mesure dynamique par vibrométrie laser à effet Doppler se distingue par une grande largeur de bande de fréquence et une haute résolution d'amplitude du mouvement. Cette technique de mesure s'applique même aux mesures de vibration à hautes fréquences comprises entre des MHz et des GHz, telles qu'elles sont requises fréquemment pour des applications microtechniques.