Métrologie de surface
Mesurer la dynamique et la topographie de MEMS
Les systèmes de mesure de surface polyvalents de Polytec vous permettent réaliser vos mesures liées à la micro et nanotechnologie, de manière fiable, rapide et précise.
Vous pouvez ainsi transférer les profondeurs de canaux sur votre labo microscopique, déterminer la hauteur de marche de l'encapsulation de MEMS, déterminer la pression des capteurs et analyser des MEMS à l'aide des paramètres de surface.
La gamme d'analyseur de microsystème (MSA) et de système de mesure de surface (TMS), simplifient Même des mesures dynamiques hors plan ou dans le plan sur des filtres RF (pour la détection des fréquences de résonance de l’ordre de MHz) vont vous paraître simple à présent, grâce à aux gammes d’analyseur de microsystème (MSA) et de système de mesure de topographie de surface (TMS).
Assurer la fonctionnalité des laboratoires microscopiques
Les systèmes microfluidiques de laboratoire microscopique, appelés LOC, réalisent un grand nombre de processus cycliques dans un espace restreint. Les systèmes de haute technologie de Polytec vous permettent de vérifier, les dimensions de canaux microfluidiques, de déterminer le volume ou de localiser la planéité de votre « laboratoire » dans son intégralité. Quelles que soient vos applications LOC, Polytec vous propose toujours la solution optimale.
Avec le TopMap Pro.Surf, grâce à son grand champ de mesure et à sa haute résolution en z, une seule mesure suffit pour mesurer toutes les profondeurs des canaux d'un LOC , avec une seule mesure. Le montage avec optique télécentrique, qui présente un chemin optique parallèle, peut mesurer entièrement le fond du canal sans avoir d’effet ombre.
En gardant sa résolution en z constant, le TopMap µ.Lab adapte rapidement et facilement la résolution latérale des différentes mesures par un simple changement d'objectif.
La série TopSens permet de mesurer rapidement et à faible coût des profils de ligne, il permet de vérifier certains paramètres importants de production à tout moment.
Produits associés
TopMap Pro.Surf
Optimal pour la caractérisation rapide et précise de surfaces 3D. La mesure de la surface garantit qu'aucun détail n'est négligé. Le TopMap Pro.Surf est caractérisé par sa vitesse de mesure et un large champ optique.
Optimisation rapide et fiable des micros systèmes
Pour la caractérisation d'un grand nombre de systèmes microsystèmes électromécaniques (MEMS) différents, tels que les capteurs d'accélération, les capteurs de pression, les filtres RF, les labos microscopiques, les gyroscopes et bien plu. Polytec vous propose toute une gamme de produits adaptés vos besoins. Ils allient rapidité, précision et simplicité. Ils vous permettent ainsi d'analyser avec précision, la hauteur de marche, le parallélisme, la planéité et la forme.
Avec le système de microscope TMS-1200 et grâce à ses excellentes résolutions latérale et verticale, même les structures de l’ordre du micromètre ne posent plus problème. Le TMS-500 (TopMap Pro.Surf) ou le TMS-350 (TopMap In.Line) vous permettent d'obtenir une haute résolution en z, sur de grandes surfaces, idéales pour la caractérisation de MEMS ou d’autres capteurs. Si les résultats de mesure statistiques ne sont pas suffisants, optez pour de la mesure dynamique avec l'analyseur Polytec de microsystème, le MSA-500. En plus de la mesure d’état de surface, il vous permet également de faire des mesures vibratoires hors plan ou dans le plan.
Les capteurs TopSens confocaux chromatiques configurables de Polytec vous proposent de nombreuses applications permettant de mesurer un grand nombre de matériaux différents, avec une grande précision. Les capteurs ponctuels étant spécialement conçus pour être utilisés dans des process industriels, ils sont faits pour s’intégrer rapidement et facilement à votre équipement existant.
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Produits associés
TopMap In.Line
Grâce à sa conception compacte, le TopMap In.Line s'intègre facilement sur les lignes de fabrication et permet de contrôler rapidement différentes surfaces réfléchissantes. Des marches, de grandes ondulations ou d’autres structures de surface ne posent donc...
TopMap Pro.Surf
Optimal pour la caractérisation rapide et précise de surfaces 3D. La mesure de la surface garantit qu'aucun détail n'est négligé. Le TopMap Pro.Surf est caractérisé par sa vitesse de mesure et un large champ optique.
Analyse de connexions électriques verticales
Les connexions verticales électriques, en anglais « vertical interconnect accesses» (VIA), sont utilisées principalement dans les environnements à forte densité, dans les circuits intégrés et présentent des structures avec un rapport d’aspect élevé. Les TSV (Through silicon VIA) se sont notamment bien développés dans le secteur des semi-conducteurs.
Les de haute technologie de Polytec vous permettent de vérifier facilement, de manière automatisée et précise, des profondeurs de gravure, des distances et des paramètres de surface. Les capteurs ponctuels TopSens confocaux chromatiques ainsi que le système de microscope, dont les interféromètres à lumière blanche TMS-1200 TopMap µ.Lab, vous proposent de nombreuses possibilités de mesure en laboratoire et en production.
