MSA-500 Micro System Analyzer

Schwingungen und Topografie von MEMS mit einem Messsystem erfassen

Schwingungen und Topografie von MEMS mit einem Messsystem erfassen

Der MSA-500 Micro System Analyzer ist das weltweit einzigartige All-in-One-Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik. Durch die Integration einer Mikroskop-Optik mit scannender Laser Doppler Vibrometrie sowie der stroboskopischen Video-Mikroskopie und der Weißlicht-Interferometrie bietet Ihnen dieser Micro System Analyzer die optimale All-In-One Lösung, mit der Sie schwingende Mikrostrukturen und deren Topographie umfassend analysieren. Identifizieren Sie schnell Resonanzfrequenzen und lassen Sie sich zugehörige Schwingformen und auch transiente Vorgänge sicher und anschaulich visualisieren.

Die Komplettlösung für die Mikrosystemtechnik

Bei breitbandiger Anregung ermitteln Sie im Handumdrehen mit dem hochempfindlichen Laser Vibrometer alle mechanischen Resonanzen (In-Plane und Out-of-Plane) in einer einzigen Messung ohne Vorinformationen über das Bauteil. Scannen Sie mikroskopische Bauteile vollflächig berührungslos ab und erhalten Sie unverfälschte Messergebnisse der Strukturdynamik (Out-of-Plane) bei Bandbreiten bis zu 24 MHz. Möchten Sie das In-Plane-Schwingverhalten genauer untersuchen, greifen Sie einfach im zweiten Schritt auf die stroboskopische Video-Mikroskopie zurück, um Informationen zu Amplituden und Phasen zu erhalten.

Kompatibel mit gängigen Probe-Stations unterstützt Sie der Micro System Analyzer in allen Entwicklungsphasen von MEMS bis hin zum Test und der Fehlersuche – und verringert somit sowohl die Produktkosten als auch die Produkteinführungszeit. Für seine innovative Technik wurde der Polytec MSA-500 Micro System Analyzer mit dem Sensor Innovation Award 2005 und der Photonics Circle of Excellence ausgezeichnet.

Wafer-Level and Single-Die Testing

Zugehörige Anwendungsbereiche Vibrometrie

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