Berührungsfreie Messtechnik zur Charakterisierung von MEMS

Angeregt durch die rasant wachsenden Einsatzbereiche und damit auch der Vielfalt Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) präsentiert Ihnen Polytec eine innovative Produktlinie von mikroskopbasierten Systemen, mit dem Sie die Dynamik und Topographie von MEMS messen. Ob statische oder dynamische Charakterisierung von MEMS-Bausteinen oder sensiblen Mikrostrukturen bis hin zur Beschreibung derer Oberflächen – mit MSA Micro System Analyzern von Polytec messen sie berührungslos und rückwirkungsfrei.

MSA-050 Micro System Analyzer

Mit dem Einstiegsgerät in die Mikroskop-Vibrometrie erfassen Sie Schwingungen an kleinen Bauteilen und Mikrosystemen vollflächig und hochgenau. Es misst berührungslos und erfasst so die Dynamik selbst kleiner Messobjekte vollkommen unverfälscht.

UHF-120 Ultra-High Frequency Vibrometer

Mit dem Ultra-High-Frequency Vibrometer analysieren Sie dank deutlich erweiterter Bandbreite Out-of-Plane Schwingungen bis zu 2,4 GHz.

MSA-600 Micro System Analyzer

Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik. Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätssicherung und erlaubt dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations auf Tests auf Wafer-Level.

MSA-100-3D Micro System Analyzer

Der 3D Micro System Analyzer erfasst Schwingungskomponenten in allen 3 Raumrichtungen gleichzeitig. Das Messsystem ermöglicht damit hochaufgelöste 3D-Schwingungsanalysen mit Amplitudenauflösungen im sub-Pikometer Bereich sowohl für In-Plane als auch für Out-of-Plane Schwingungskomponenten.