Laser-Doppler Vibrometer

Polytec Laservibrometer sind der weltweit anerkannte Standard für die berührungslose Schwingungsmessung gereift. Das umfassende Produktspektrum bietet messtechnische Lösungen für nahezu jede Fragestellung hinsichtlich Vibration und Akustik in Forschung, Entwicklung, Produktion und Langzeitüberwachung. Ob Einpunkt- oder differentielle Messung, zur Bestimmung von Rotationsschwingungen oder in der Bauteilebene (in plane), zur Charakterisierung von Mikrosystemen und MEMS sowie zur flächenhaften Darstellung großer Strukturen: Polytec Vibrometer messen die realen Schwingungen schnell, berührungslos und ohne Einfluss auf das Messobjekt.

Innovative Lösungen für die MEMS Charakterisierung

Angeregt durch die rasant wachsenden Einsatzbereiche und damit auch der Vielfalt Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) präsentiert Ihnen Polytec eine innovative Produktlinie von mikroskopbasierten Systemen, mit dem Sie die Dynamik und Topographie von MEMS messen. Ob statische oder dynamische Charakterisierung von MEMS-Bausteinen oder sensiblen Mikrostrukturen bis hin zur Beschreibung von deren Oberflächen – mit den Micro System Analyzern von Polytec haben Sie die idealen Systeme dazu.

MSA-050 Micro System Analyzer

Mit dem Einstiegsgerät in die Mikroskop-Vibrometrie erfassen Sie Schwingungen an kleinen Bauteilen und Mikrosystemen vollflächig und hochgenau. Es misst berührungslos und erfasst so die Dynamik selbst kleiner Messobjekte vollkommen unverfälscht.

UHF-120 Ultra-High Frequency Vibrometer

Mit dem Ultra-High-Frequency Vibrometer analysieren Sie dank deutlich erweiterter Bandbreite Out-of-Plane Schwingungen bis zu 2,4 GHz.

MSA-600 Micro System Analyzer

Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik. Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätssicherung und erlaubt dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations auf Tests auf Wafer-Level.

MSA-100-3D Micro System Analyzer

Der 3D Micro System Analyzer erfasst Schwingungskomponenten in allen 3 Raumrichtungen gleichzeitig. Das Messsystem ermöglicht damit hochaufgelöste 3D-Schwingungsanalysen mit Amplitudenauflösungen im sub-Pikometer Bereich sowohl für In-Plane als auch für Out-of-Plane Schwingungskomponenten.