Berührungsfreie Messtechnik zur Charakterisierung von MEMS

Angeregt durch die rasant wachsenden Einsatzbereiche und damit auch der Vielfalt Mikro-Elektro-Mechanischer Systeme (MEMS) präsentiert Polytec diese innovative Produktlinie an mikroskopbasierten optischen Messsystemen, um MEMS Dynamik und Topographie zu messen. Ob statische oder dynamische Charakterisierung von MEMS-Bausteinen oder sensiblen Mikrostrukturen bis hin zur Beschreibung derer Oberflächen - auch an verkapselten Mikrostrukturen – mit MSA Micro System Analyzern von Polytec messen sie berührungslos und rückwirkungsfrei.

MSA-600 Micro System Analyzer

Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik. Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätssicherung und erlaubt dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren Probe-Stations auf Tests auf Wafer-Level.

MSA IRIS Messdienstleistung

Diese brandneue, patentierte Messtechnik erlaubt die umfassende Charakterisierung verkapselter MEMS durch die Silizium Kappe hindurch. Unsere PolyXperts freuen sich auf Ihre Proben verkapselter Mikrostrukturen und MEMS: für verlässliche experimentelle Modalanalysen, Machbarkeitsstudien und Beratung über alle Projektphasen hinweg von Entwicklung über Prototyping bis Fertigung.

MSA-100-3D Micro System Analyzer

Der 3D Micro System Analyzer erfasst Schwingungskomponenten in allen 3 Raumrichtungen gleichzeitig. Das Messsystem ermöglicht damit hochaufgelöste 3D-Schwingungsanalysen mit Amplitudenauflösungen im sub-Pikometer Bereich sowohl für In-Plane als auch für Out-of-Plane Schwingungskomponenten.

MSA-050 Micro System Analyzer

Mit dem Einstiegsgerät in die Mikroskop-Vibrometrie erfassen Sie Schwingungen an kleinen Bauteilen und Mikrosystemen vollflächig und hochgenau. Es misst berührungslos und erfasst so die Dynamik selbst kleiner Messobjekte vollkommen unverfälscht.