CV/IV-Messsysteme

Schichten elektrisch charakterisieren

Quecksilberkontakt CV- und IV-Messgeräte von Polytec erschließen Ihnen ein breites Spektrum der elektrischen Charakterisierung unterschiedlichster Schichten, wie Oxide, Dielektrika, Schichten auf leitenden und isolierenden Substraten oder von SOI-Wafern. Das besondere Messkopfkonzept bietet Ihnen eine wiederholbare und präzise definierte Kontaktflächengröße, kombiniert mit herausragender Sicherheit und Sauberkeit im Umgang mit dem Kontaktmaterial Quecksilber. Abhängig von der Anwendung können Sie unterschiedlichste Kontaktgeometrien realisieren.

Die Vielzahl möglicher Messmethoden ermöglicht Ihnen einen weiten Bereich der Probencharakterisierung, z. B.:

  • Oxid-Integrität und -Qualität überwachen
  • Dotierprofile erstellen
  • Ladungsträger-Lebensdauer messen
  • Widerstände von quasi-isolierenden Materialien bestimmen
  • SOI Strukturen charakterisieren
  • Ferroelektrischer Materialien untersuchen
  • Poly-Silizium charakterisieren

Rechteck-Pulse kommen zur Messung der quasistatischen-, als auch HF-Kapazität zur Anwendung. Die Vorteile liegen unter anderem in der Unempfindlichkeit gegenüber dem Reihenwiderstand.

Anschlüsse für vorhandene externe HF-Sinusquellen erhöhen die Flexibilität im Einsatz.