SECS/GEM-Software

Die EIGEMBox-2000 ist ein Hardwareprodukt, das Geräte SECS/GEM-fähig macht, bei denen das bislang nicht möglich war.
Die Legacy-Geräte können beliebige Modelle jedes Herstellers sein und auf beliebigen Betriebssystemen ausgeführt werden. Auch Prozess-, Inspektions- oder Messgeräte können mit der EIGEMBox-2000 ausgestattet werden.
Für den Einsatz muss keine Hard- oder Software auf dem Alt-Gerät installiert werden. Damit ist sichergestellt, dass die EIGEMBox-2000 weder Zuverlässigkeit noch Leistung des Systems beeinträchtigt.
Die Kommunikation wird über den HSMS- oder SECS-I-Port ermöglicht. Zusätzlich zu SECS/GEM können Daten von älteren Geräten auch über OPC oder Modbus TCP gesendet werden.

Installation

EIGEMBox-2000 ermöglicht SECS/GEM-, Modbus- oder OPC-Funktionen auf vorhandenen Geräten. Sie müssen lediglich das Kabel vom PC Ihres Geräts an die EIGEMBox anschließen. Wenn das Gerät Auswahl/Download oder Remote Start/Stopp steuern soll oder Sollwerte definiert werden sollen, muss die EIGEMBox über Tastatur- und Mausanschluss (USB oder PS/2) mit dem Geräte-PC verbunden werden. Das ist alles!

Eigenschaften

• Ermöglicht SECS/GEM-, OPC- oder Modbus-Funktion für vorhandene Geräte, unabhängig von Generation, Marke, Modell, Betriebssystem
• 100% sicher - keine Soft- oder Hardwareinstallation auf dem Gerät nötig
• Aktiviert Automatisierungsfunktionen wie Datenerfassung und -analyse, Fehlererkennung und Klassifizierung (FDC), Download, Remote Start/Stopp usw.
• Unterstützt Industrie 4.0 und Smart Factory
• Verbessert Ertrag, OEE, Zykluszeit, Prozess und reduziert die Produktionskosten

Der EIMobileMonitor ermöglicht die Überwachung kritischer Geräteparameter auf mobilen Endgeräten. Es ist ein Produkt für Gerätehersteller und Servicepartner, um es für Fab-Kunden anzupassen und zu lizenzieren.

Eigenschaften

• Ermöglicht die Fernüberwachung kritischer Parameter auf Mobilgeräten
• Verhindert Fehlbearbeitung von Losen und längere Ausfallzeiten
• Verbessert die technische Effizienz
• Funktioniert auf den meisten Plattformen - iOS, Android, Windows und Blackberry
• Automatische Aktualisierung in einem definierten Intervall
• Einfach einzurichten

EIGEMSim ist eine Software, mit der die SECS/GEM-Konformität Ihrer Gerätesoftware getestet wird. Sie simuliert den Factory Host und wird mit den meisten SECS-Messages geliefert, die zum Testen benötigt werden.

Eigenschaften

• Konfigurierbar zur Simulation des Factory Host oder Geräten
• Unterstützung für mehrere Plattformen – Linux, Unix oder Windows
• Intuitive Benutzeroberfläche zum Konfigurieren und Senden von SECS-Nachrichten
• Wird mit den meisten zum  Testen notwendigen SECS-Messages geliefert
• Protokolle aller eingehenden und ausgehenden SECS- Messages

Das Methodenmanagementsystem hilft in der Fab, Ertrag, technische Effizienz, OEE und Zykluszeit zu verbessern. Methoden-Server funktioniert mit allen Geräten in der Fabrik oder ATM (Montage-, Test- oder Verpackungsfabrik), die SECS/GEM-fähig sind. Für Geräte, die nicht SECS/GEM-fähig sind, kann eine benutzerdefinierte Lösung erstellt werden.

Vorteile

• Stellt sicher, dass Wafer/ -matrizen in der Produktion immer mit den aktuellsten Methoden verarbeitet werden
• Verhindert die Fehlverarbeitung von Wafern durch falscher Methoden
• Spart viel Engineeringzeit beim Erstellen und Übertragen von neuen oder geänderten Methoden auf alle Geräte derselben Art
• Verbessert die OEE- und Zykluszeit
• Behält den Prüfpfad für Methodentänderungen bei. Benutzerdefinierte Funktionen können hinzugefügt werden. In einem Fall hatten Mitarbeiter die Erstellung von Methoden/ Jobs bei Steppern zum Methodenverwaltungssystem hinzugefügt. Dieses Modul prüfte regelmäßig, ob eine neue Maskenfreigabe vorhanden ist, und rief alle erforderlichen Parameter aus dem CAD-System ab, um automatisch Stepper-Jobs zu erstellen, bevor die Methoden/ Jobs in das Server-Repository hochgeladen wurden, das sie dann in die erforderlichen Stepper lud.

Teilliste der Toolsets:

• Canon i5 +, i5 und i4 Stepper
• Matrixsystem One dry etch
• SPEC wet bench
• IVS-Overlay-Messtechnik
• Ultratech-Wafer-Topographie- und Spannungsmessgeräte

EIAMS ist ein Alarmmanagementsystem, mit dem nicht nur die von den Geräten erzeugten Alarme verfolgen und mit anderen Geräten des gleichen Typs vergleichen können. Es lassen sich auch automatisch benutzerdefinierte Reaktionen auf einen Alarm ausführen. Das führt zu Effizienzsteigerungen, Verbesserung der Zykluszeit, OEE und MTTR (mittlere Reaktionszeit).

Vorteile

EIAMS ermöglicht Benutzern die Definition von Reaktionen auf Alarme und führt diese automatisch aus. Solche Aktionen können beliebige Kombinationen sein:

• Zufuhr-Stopp von Wafer in das Gerät
• Benachrichtigung des entsprechenden Fachpersonals
• Das Gerät in planmäßige oder außerplanmäßige Wartung versetzen
• Wafer für die technische Bewertung zurückhalten, bevor Sie dem nächsten Schritt zugeführt werden
• Sofortigen Prozessstopp ausführen
• Diverse andere benutzerdefinierte Aktionen
• Protokolliert alle Alarme und vergleicht Alarme von einem Gerät mit denen anderer Geräte desselben Typs
• Pareto-Alarme definieren, die helfen, sich auf die am häufigsten Alarme zu konzentrieren

Das Ersatzteilmanagementsystem unterstützt Fabs bei der Verwaltung der Ersatzteilkosten, des Lagerbestands und des Lebenszyklus. Es hilft, Ersatzteilkosten einer Maschine mit anderen des gleichen Typs zu vergleichen. Das System bietet auch Diagramme zum Lebenszyklusvergleich von Ersatzteilen mehrerer Lieferanten oder zum Vergleich der Lebensdauer eines Teils mit einem ähnlichen Teil in der Vergangenheit auf demselben oder einem anderen Gerät.

Vorteile

• Kostentracking für Ersatzteile an jedem Gerät und Vergleich mit anderen Geräten   Lebensdauertracking jedes Ersatzteils und Vergleich mit anderen Teilen auf demselben Gerät oder Typ, von demselben oder verschiedenen Herstellern
• Führen von Ersatzteilbeständen
• Erkennung systematischer Probleme in der Ausstattung

EIQRSTS ist ein Quarz-/ Saphir-Tracking-System, das mit einem Barcode-Scanner, einem mobilen Endgerät und der erforderlichen Software geliefert wird. Das System kann auch für das Tracking von Objekten in der Fab oder ATM (Montage-, Test- und Verpackungsfabrik) verwendet werden, die während des Prozesses (in Verbindung mit anderen Informationen) verfolgt und dokumentiert werden müssen.

Eigenschaften

• Tracken von Quarz/ Saphir in der Fab
• Erlaubt die schnelle Suche nach Quarz / Saphir nach ID oder Familie/ Kategorie
• Bietet einen Audit-Trail darüber, wer Quarz/ Saphir wann und wohin bewegt hat
• Hilft bei der Fehlerbehebung von Quarz-/ Saphirschäden
• Kann für das Tracking r wertvoller Produktionsressourcen verwendet werden

Wenn in der FAB Ausschuss entsteht, weil in manuellen Nassbänken Wafer in ein falsches Bad getaucht werden, ist EIMWA eine perfekte Lösung. Sie brauchen Ihre aktuelle Wetbench nicht auszutauschen oder aufzurüsten und sparen enorme Kosten. Mit dem EIMWA-System aus Barcode-Scanner, mobilem Endgerät und entsprechender Software können lässt sich sicherstellen, dass Wafer immer mit der exakten Ätzzeit im richtigen Bad verarbeitet werden.

Vorteile

• Verhindert Ausschuss durch falsche Ätzbäder von Wafern
• Spart Kosten, weil aktuelle Wetbenches nicht ersetzt oder upgegraded werden müssen
• Spart Engineering-Ressourcenweil keine erneute Qualifizierung der Wetbench nach Upgrade oder Austausch erforderlich wird
• Integriert sich in Ihr aktuelles MES
• Bietet Informationen zur Historie bzw. Verarbeitung von Wafer-Chargen bzgl. chemischer Badwechsel oder der Ergänzung von Chemikalien