Oberflächen nanometergenau messen

Polytecs TopMap Systeme der optischen Oberflächenmesstechnik sind innovative, hochpräzise und berührungslose Werkzeuge. Sie basieren auf dem Prinzip der Weißlicht-Interferometrie, auch kohärente oder vertikale Scanning-Interferometrie oder Kohärenzradar genannt. Dank eines großen vertikalen Verfahrwegs und einer Auflösung im Nanometerbereich sind sie optimal für die berührungsfreie Messung von Ebenheiten, Höhenabständen, Parallelität großer Flächen und Strukturen und bei fast allen Materialien.

TopSens Punktsensoren

Polytec Punktsensoren sind leicht in Fertigungslinien zu integrieren und ermöglichen in-line Prüfungen wie Abstands- und Dickenmessungen, messen auch bei transparenten Prüflingen und bestimmen auch die Rauheit oder Mikro- bzw. Nanotopographie. Die Messköpfe enthalten keine bewegten Teile und sind daher robust und wartungsfrei. Die chromatisch-konvokalen Sensoren der TopSens-Serie bedienen Anwendungen in den Bereichen der Elektronik und Mikroelektronik, Halbleiter, Automotive und Mikromechanik.

TopSens

Die konfigurierbaren, chromatisch-konfokalen Punktsensoren der TopSens Serie ermöglichen schnelle Qualitätskontrollen in der Fertigungslinie.