Dynamik und Topographie von MEMS messen

Mit den vielseitig einsetzbaren Oberflächenmesssystemen von Polytec lösen Sie Ihre Aufgaben in der Micro- & Nanotechnologie zuverlässig, hochgenau und schnell.

So können Sie Kanaltiefen auf Ihrem Lab-on-a-Chip auswerfen lassen, die Stufenhöhe beim MEMS-Packaging bestimmen, Ebenheiten von Drucksensoren ermitteln und MEMS anhand von Oberflächenparametern analysieren.

Selbst dynamische Out-of-plane- und In-plane-Messungen auf RF-Filtern zur Bestimmung von Resonanzfrequenzen im MHz-Bereich sind für Sie jetzt ein Leichtes – dank der Polytec Microsystem Analyse-Serie.

Broschüre Kompetenzfeld Oberflächenmesstechnik

 

 

MEMS Getriebe