3D Dynamik und Topografie von Mikrosystemen und MEMS messen

Mit dem neuen MSA-600 Micro System Analyzer bietet Polytec ein neues universelles, optisches all-in-one Messsystem für Mikrosysteme.

Das MSA-600 ist das ideale Werkzeug für die schnelle Messung und Visualisierung von Systemresonanzen, transienter Systemantwort und der Oberflächentopografie von MEMS und anderen Mikrosystemen. Es ermöglicht Echtzeit-Messungen mit einer Bandbreite von bis zu 25 MHz und damit die Ermittlung von Übertragungsfunktionen ohne aufwendige Datennachbearbeitung.

Das integrierte Interferometer mit höchster Messempfindlichkeit und Sub-pm Wegauflösung sorgt für aussagekräftige Ergebnisse und erfasst auch feinste Out-of-plane Bewegungsdetails eines Bauelements (vertikal zur Bauteilebene). Zusätzlich kann auch der planare Bewegungsanteil erfasst, charakterisiert und anschaulich animiert werden. 

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