光学表面轮廓仪

Polytec 光学表面计量系列包括创新型、非接触式高精度工具。它们均基于白光干涉测量原理,也称为相干或垂直扫描干涉法或相干雷达。由于垂直距离大,纳米分辨率高,非常适合几乎所有材料的大型表面和结构的平整度、台阶高度和平行度的非接触式测量。