测量 MEMS 的动态和外形

使用 Polytec 多功能表面测量系统,您可以可靠、快速和高精度地完成您的微米技术和纳米技术任务。

您可以在芯片实验室上计算出通道深度、确定(微电子机械系统)MEMS 封装的台阶高度、建立压力传感器的平面度、以及使用表面参数分析(微电子机械系统) MEMS。

即使对 RF 滤波器执行面内和面外动态测量来确定 MHz 共振频率对于您来说也是一个简单的任务——这都多亏了 Polytec 的微系统分析仪系列。

Brochure Competence Field Surface Metrology

MEMS Getriebe