激光多普勒测振法
激光多普勒测振法是目前能够获取最佳位移和速度分辨率的振动测量方法,已被广泛用于基础科学领域。它能实现飞米级的振幅分辨率,线性度高,在极高频率范围内(当前已超过 1GHz)仍能确保振幅的一致性。这些特性不受测量距离影响,因此,无论是近距离的显微测试还是超远距离测试,该原理均适用。系统采用激光作为探测手段,完全无附加质量影响,具有非侵入性,从而能够在极小和极轻质的结构上进行测量。这种无与伦比的技术优势加上坚固的设计,无论是实验室还是户外均能得到很好的应用。
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物理原理始终如一:

如果波被运动物体反射并被仪器检测到(正如 LDV),则所测量到的频移可以描述为:
fD = 2· v/λ
其中,v 是物体速度,λ 是入射波波长。反过来,为了能确定对象速度,需要在已知波长的情况下测量(多普勒)频移,这正是通过 LDV 中的激光干涉仪来完成。
激光多普勒测振仪以光学干涉为基础,即,本质上要求两个相干光束进行叠加,其各自的光强分别为 I1 和I2。两个光束的总强度不是简单的单个强度的求和,而是根据下列公式得出:
Itot = I1 + I2 + 2 √(I1 I2) cos [2π(r1 - r2)/λ]。
该干涉项与两个光束之间的路径差相关。如果该差值是光波长的整数倍,则总强度是单个光强的四倍。
上图显示了这种物理定律在 LDV 中如何实现技术上的使用。
光束分离器 (BS 1) 将激光束分成参考光束和测量光束。在通过第二个光束分离器 (BS2) 后,测量光束聚焦到样本上,并进行反射。该反射光束由 BS 2 向下偏转(见图),然后与参考光束合并到检测器上。
由于参考光束的光路为常数 (r2 = const.)(除干涉仪上可忽略的热效应之外),样本移动 (r1 = r(t))会在检测器上产生亮/暗条纹,这是一种典型的干涉法。检测器上的一个完整的亮/暗周期条纹正好与所用激光的半个波长的位移量相对应。这在激光测振仪经常使用的氦氖激光的情况下,对应于 316nm 的位移。
每单位时间的光程改变表现为测量光束的多普勒频移。在计量方面,意味着多普勒频移直接与样本振动速度成正比。由于远离干涉仪的物体运动所产生的明暗条纹(和调制频率)与物体朝向干涉仪移动所产生的相同,因此仅这种设置无法明确物体移动的方向。鉴于此,将光频移典型值为 40MHz 的声光调制器(布拉格盒)放置在参考光束中(出于比较目的,激光频率为4.74 · 1014 Hz)。当样本处于静态时,将产生 40 MHz 的典型干涉调制频率。因此,当样本朝干涉仪移动时,调制频率会增加;当样本远离干涉仪移动时,则检测器接收到的频率则小于 40MHz。这意味着,如今不仅能精确检测光程长度,还能检测出运动方向。
原理上, 除可以直接测量出振动速度外,LDV还可直接测量出位移量。不过不是通过对速度进行积分,而是通过对LDV检测器上的亮/暗条纹进行计数来得出位移量。使用合适的插值技术,Polytec 激光测振仪的位移分辨率可达 2 nm ,而在采用数字解调技术后,位移分辨率可达pm级。这种位移解调技术尤其适用于低频测量(在亚 Hz 范围内)。速度解调更适用于高频场合,因为谐波振动的最大振幅可以表示如下:
v = 2π • f • s
随着频率的增加,振动速度增加,振动位移则减小。
频闪视频显微镜
频闪视频显微镜(SVM)基于这样的事实,即使在普通的摄像机中,借助于短的闪光灯视觉冻结快速运动,也可以在组件平面中显现高频振动。
系统的时间分辨率由 LED 闪光灯的脉冲宽度决定, 因为相机不够快, 无法快速记录非常短的事件。如果关闭闪光灯,CCD 传感器就无法记录图像。因此, 只有在闪光灯亮的选定运动阶段才会检测光, 它可以记录在比所述照相机的最短的曝光时间更短的时间段的事件。引起样品振动的激发信号,LED 闪光灯闪烁, 相机曝光时间必须精确协调。下图显示了在周期采样激励的两个不同阶段使用两个相机拍摄的例子来同步 PMA 软件的时间图。
综合激光多普勒测振仪使用
SPV 和 LDV 的组合系统,您可以识别在所有三个空间方向上移动的结构的机械共振。激光多普勒测振仪的激光束和频闪镜通过分束器单元耦合到集成显微镜光学器件的光束路径中。在信号发生器和测控制器方面, 计算机控制着激光束的运动 (扫描 LDV)、频闪照明、干涉信号的处理、摄像头的图像以及必要时对样品的刺激。最后,通过强大的系统软件进行测量的评估和视觉表示。微机械部件 (MEMS) 特性的组合过程具有特别重要的意义。

单点式激光测振仪测量的是沿着激光束方向上的物体振动。由于测量系统垂直于被测表面,因此也被称为“面外”振动测量仪。这种通用的 LDV适用于显微振动测量和远距离振动测量,可得出振幅和传递函数。也可以将多台单点式激光测振仪组合成多点式激光测振仪,非接触式获取样本的振型。扫描式激光测振仪用于稳态过程的振动测量(参见单独的章节)。
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差分振动测量描述的是两个点之间的相对振动。通常使用两种方法:
- 在光路中测量差值(干涉仪的参考光束被引导至被测物表面)。好处是使用减法能保证绝对的相位保真度,这就是为什么该方法适用于高频的原因。
- 使用两个独立的干涉仪以电子方式计算差值。这种方法设置更灵活。
面内激光测振仪测量的是垂直于测量轴方向的振动和运动。面内振动测量法可以非接触式地检测如活塞、阀轴或工具等运动行程,还可用于高动态应变测量。
旋转方法是指对任意形状的旋转结构上旋转振动的角速度和振荡角的测量。例如, 对传动链、燃气轮机、发电机、打印机和复印机进行了旋转动力学分析。
显微式振动测量是基于显微镜头的对小部件和微系统的振动测量。扫描式激光多普勒测振仪可单独执行全场振动测量(面外振动测量),也可集频闪视频测量仪(面内振动测量)和白光干涉仪(形貌测量)于一体。
扫描振动测量描述了振动的测量,其中激光束通过一系列单点测量来连续地扫描测量物体的表面。结果是每个测量点的传递函数。在频率范围这些代表作为操作的振荡形式。在时间范围内,可以动态地检查结构的二维同时运动。
如果要记录暂时性变量或瞬态过程的振荡形式, 多点振动测量是理想的。与扫描方法不同, 测量数据在所有通道上同时同步记录。多传感器概念使您可以在频率范围内的时间或截距中分析结果。