基于微纳米技术的可靠传感器

精确、可靠且快速的测量技术,在微系统在研发和生产过程中的设备质量监测起决定性作用。越来越多的微型传感器被应用于安全相关的领域,这对可靠性和功能安全性均有很高要求,这就要求设计牢固,产品精度高。  

采用纯电子器件不能满足微电机结构元件(如MEMS 致动器或传感器等)的振动测试需求,需要采用合适的光学测量方法。 

Polytec 微系统分析仪是理想的选择。一方面,它能够高分辨率确定表面形貌;另一方面,它还能精确描述动态特性,其位移分辨率极佳,测量频率可达数 MHz 范围(甚至 GHz 范围),已为越来越多的微技术应用所需要。