MSA-600显微式激光测振仪

测量MEMS系统的3D动态特性及形貌特性

测量MEMS系统的3D动态特性及形貌特性

表面形貌、动态特性分析及可视化是显微结构(如MEMS器件)进行测试和开发的关键。这对于验证有限元算法、确定串扰影响和测量表面形变等都至关重要。

基于MEMS系统的一体化光学测量解决方案

基于MEMS系统的MSA-600显微式激光测振仪,集多种测量功能于一体,其不仅能测量面内振动和面外振动,还能测量表面形貌。系统具有极高的灵活性和精度,以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据,在降低开发和制造成本的同时提高产品性能,从而缩短设计周期,简化故障处理,提高产品产量。

高性能激光多普勒测振仪能快速进行实时测量,位移分辨率达亚pm级。白光干涉仪可以在几秒钟内提供数以百万计的三维表面形貌数据。MSA-600的用户界面直观,操作简便,是一款用于研究、开发和质量控制的功能强大的光学测量系统。系统易于集成至常见的商用探针台上,从MEMS原型设计到测试和故障排除,其能在各个开发阶段给您提供帮助,从而降低生产成本并缩短产品上市时间。

Wafer-level and single-die testing

相关产品

Polytec MSA-050 Micro System Analyzer

MSA-050显微式激光测振仪

您可以使用经济实惠的入门级设备进行显微镜振动测量,以高精度记录整个表面上小部件和微系统的振动。该设备运行时无接触,因此能以完全无失真的方式测量甚至小样品的动力学

Polytec MSA-100-3D Micro System Analyzer

MSA-100-3D显微式激光测振仪

显微系统分析仪同时记录所有三个空间方向上的振动分量,能高分辨率进行面内和面外3D振动分析,其振幅分辨率在亚皮米范围内。

Polytec UHF-120 Ultra High Frequency Vibrometer

UHF-120 超高频激光测振仪

超高频激光测振仪带宽更大,可用于测量频率高达 2.4 GHz 的面外振动。