MSA-100-3D显微式激光测振仪

MEMS 和微系统的3D 振动测量

MEMS 和微系统的3D 振动测量

实物振动通常是三维振动。诚然,您可选择优先显示某特定方向的振动,但由于存在产品公差和其它影响,其它空间方向也会产生运动分量。 MSA-100-3D 显微系统分析可在大带宽范围内实时测量样本的动态特性,高分辨率同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量,每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。 

因为在3D 真实的生活中运动

因激光光斑极小,所以横向分辨率极高,且带宽高达 25 MHz,Polytec的MSA-100-3D 是用于微机电传感器和致动器 (MEMS) 以及其他微结构的振动测量的理想设备。通过软件移动样品,MSA-100-3D 完成样品整个表面的振动分析,然后以图形方式显示振型。

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