MEMS振动测量的创新式解决方案

由于微机电系统(简称为 MEMS)的快速进一步发展,Polytec 展示了一个创新的显微镜系统产品系列,您可以使用它来验证微系统的动力学和形貌。您可以在 Polytec 找到用于确定传递函数的完美设备,以及用于集成在(真空)探测站的微系统静态和动态 3D 表征的独特一体化仪器。

MSA-600显微式激光测振仪

MSA-600显微式激光测振仪专用于测量MEMS和显微结构,是获取三维静态特性与动态特性的一体化光学测量解决方案,其有助于加快产品开发进程,优化产品质量控制,甚至可集成至商用探针台上进行晶圆级测试。

MSA IRIS Measurement Service

This brand new, patented measurement technology allows for comprehensive and representative analysis of Si encapsulated MEMS, measuring dynamics right trough silicon caps. Our PolyXperts are looking forward to receiving your capped MEMS samples for modal testing, feasibility studies and consulting throughout all phases from development over prototyping to manufacturing of your encapsulated microstructures.

MSA-100-3D显微式激光测振仪

显微系统分析仪同时记录所有三个空间方向上的振动分量,能高分辨率进行面内和面外3D振动分析,其振幅分辨率在亚皮米范围内。

MSA-050显微式激光测振仪

您可以使用经济实惠的入门级设备进行显微镜振动测量,以高精度记录整个表面上小部件和微系统的振动。该设备运行时无接触,因此能以完全无失真的方式测量甚至小样品的动力学