MEMS振动测量的创新式解决方案

由于微机电系统(简称为 MEMS)的快速进一步发展,Polytec 展示了一个创新的显微镜系统产品系列,您可以使用它来验证微系统的动力学和形貌。您可以在 Polytec 找到用于确定传递函数的完美设备,以及用于集成在(真空)探测站的微系统静态和动态 3D 表征的独特一体化仪器。

MSA-050显微式激光测振仪

您可以使用经济实惠的入门级设备进行显微镜振动测量,以高精度记录整个表面上小部件和微系统的振动。该设备运行时无接触,因此能以完全无失真的方式测量甚至小样品的动力学

UHF-120 超高频激光测振仪

超高频激光测振仪带宽更大,可用于测量频率高达 2.4 GHz 的面外振动。

MSA-600显微式激光测振仪

MSA-600显微式激光测振仪专用于测量MEMS和显微结构,是获取三维静态特性与动态特性的一体化光学测量解决方案,其有助于加快产品开发进程,优化产品质量控制,甚至可集成至商用探针台上进行晶圆级测试。

MSA-100-3D显微式激光测振仪

显微系统分析仪同时记录所有三个空间方向上的振动分量,能高分辨率进行面内和面外3D振动分析,其振幅分辨率在亚皮米范围内。