TMS-1200 TopMap μLab - テクニカル データ
仕様
| TMS-1200 TopMap µ.Lab Hardware |
| 測定方式 |
スキャニング白色光振動計（マイケルソン/ミラウ） |
| 光源 |
LED |
| 対物レンズ |
CFプラン対物レンズ |
ズーム倍率
（x 係数） |
開口数
（－） |
視野
（mm x mm） |
測定距離
（mm） |
ピクセル分解能
（µm） |
| 2.5 |
0.075 |
3.59 x 2.63 |
10.30 |
3 |
| 5 |
0.13 |
1.80 x 1.34 |
9.30 |
2 |
| 10（デフォルト） |
0.30 |
0.90 x 0.67 |
7.40 |
0.67 |
| 20 |
0.40 |
0.45 x 0.335 |
4.70 |
0.335 |
| 50 |
0.55 |
0.18 x 0.134 |
3.70 |
0.134 |
| カメラ解像度（H x V） |
最大1280 x 1024 ピクセル（選択可能） |
| TMS-1200 TopMap µ.Lab 測定性能 |
| サンプリング ステップサイズ |
10 nm |
88 nm |
評価方式
|
位相評価 |
エンベロープ
評価 |
位相評価 |
エンベロープ
評価 |
| 垂直分解能(1) |
0.3 nm |
3.0 nm |
1.5 nm |
8.0 nm |
| リピータビリティ(2) |
0.03 nm |
0.3 nm |
0.1 nm |
0.5 nm |
| 校正標準に対する測定性能(3) |
| 測定における不確かさ |
0.50 % |
| 測定時間 |
| 計算式 |
測定時間 = (Zレンジ+ 10 µm) /(サンプリング ステップサイズ x フレームレート) |
| 例(4) |
~ 1 分 |
~ 7 秒 |
(1) 除振台を使用し、全反射ミラー上で測定した場合
(2) リピータビリティ（測定再現性）: ノイズフィルタを使用し、ISO 1101標準に準じて全反射ミラー（（1）を参照）上で平面度測定を連続的に行った場合の標準偏差
(3) PTB（ドイツ物理工学研究所）によるトレーサブルな標準校正法による。標準タイプA1（ISO 5436-1）、ステップ高さ 50 µm。
(4) 測定条件: Z軸レンジ 20 µm、フレームレート 50/s
| TMS Software － ソフトウェア |
| 操作インタフェースおよびデータ解析機能を提供 |
| 計測物を直接モニタしながら設定や調整ができるライブビデオ機能を搭載 |
| 付属のCOM/ActiveXまたはLabVIEW™ドライバからリモートコントロール可能 |
| VBA（Visual Basic®マクロ）によるプログラミングに対応 |
| Microsoft Excel®やMATLAB®、あるいはユーザ独自のデータベースと直接インポート/エクスポート可能 |
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