TMS-1200 TopMap μLab - 概要

特長

• ナノメータ以下の分解能で、3D表面形状をスピーディに非接触で計測
• 測定物表面の粗さ（なめらかさ）にかかわらず、表面の形状や平面度を正確に計測
• Smart Surface Scanning技術により、画像の重大なコントラストずれを補正
• 表面形状の計測と評価のための、強力なTMS Softwareを搭載
• ビデオオーバレイ技術を用いた2D/3D描画機能
• スティッチング機能により広い視野を実現（オプション）

顕微鏡ベースの、非接触型表面形状/表面パラメータ測定ツール

TopMap µ.Labは、白色光干渉計をベースに、あらゆる測定物の表面に対してミクロの形状計測を行うオールインワン・ワークステーションです。
TopMap µ.Labは、製品開発や品質管理の研究レベルで求められる形状計測に即した、最適なシステムとして構成されています。

TopMap µ.Labに搭載されている特殊な対物レンズが、試料の干渉パターンを計算し、デジタルカメラで画像化します。干渉対象をナノメータ精度でスキャンした後、一連の干渉パターンを計算し、デジタルカメラで保存します。
こうして、高い解像度と正確な深度で試料の形状に関するXYZ成分がデータ化されます。

次に、TMS Softwareがこれらのデータセットに基づき試料表面の形状、曲率、平面度、粗さを強力に解析します。ユーザは、エンベロープ解析や位相解析、更にフィルタリングやマスキングを行いデータを分析します。必要な拡張機能は、オプションのReport Software Packageから追加できます。

TopMap µ.Labでは、実際の視野より広い領域も計測できます。この場合、TMS Softwareに搭載されているスティッチング（結合）機能を利用します。視野は、X軸またはY軸方向に最大50 mmまで移動できます。測定物を分割して計測し、個々の形状データを結合することで、計測領域全体の形状を割り出すことができます。