TMS-300/320 TopMap In.Line - テクニカル データ

仕様

TMS-300/320 TopMap In.Line － ハードウェア
干渉計タイプ	マイケルソン干渉計
画像処理方式	テレセントリック光学系
視野 （設定により異なる）	4.2 mm x 5.6 mm, 6.4 mm x 8.6 mm, 9.6 mm x 12.8 mm, 13.6 mm x 18.3 mm, Ø 19 mm
バージョン	TMS-300	TMS-320
Z軸測定深度	500 μm	50 mm
Z軸分解能	< 40 nm	1 μm （10 nm）*
XY分解能	9 μm ～39 μm （視野により異なる）
カメラ解像度（H x V）	658 x 494 ピクセル
外形寸法 [L x W x H]	380 mm x 200 mm x 120 mm
電源	交流電圧： 100 V ～ 240 V、VAC±10%
重量	約 9.5 kg
動作温度範囲	+5 °C ～ +35 °C
保管温度範囲	–10 °C ～ +65 °C
相対湿度	最大80%、結露なきこと

* Z軸方向に高分解能ステージを搭載

TMS Software － ソフトウェア

操作インタフェースおよびデータ解析機能を提供

計測対象を直接モニタしながら設定や調整ができるライブビデオ機能を搭載

付属のCOM/ActiveXインタフェースまたはLabVIEW™ドライバからリモートコントロール可能

VBA（Visual Basic®マクロ）によるプログラミングに対応

Microsoft Excel®、MATLAB®、およびユーザ定義のデータベースと直接インポート/エクスポート可能