ハードディスク構成部品の品質管理 - さらに詳しく
流体軸受(FDB)の非破壊品質管理

針を使った従来の表面形状計測装置は、測定時に試料の表面を傷つけてしまうことがあります。こうした傷は繊細で高度な表面処理が施された測定物にとって致命的なダメージであり、計測したデータの信頼性も低いものになります。 TopMapでは、非接触・非破壊による表面形状や平面度の計測が可能です。測定視野は最大30 mm × 40 mm、垂直解像度は10 nmです。
ハードディスク ドライブに搭載されるさまざまな部品、たとえば軸受スリーブ、シャフト、ディスクハブなどの製造現場では、品質管理を支える技術の一つとしてTopMapシステムが利用されています。 特に、ボール型ベアリングの代替部品として数年前に登場した、流体軸受(FDB)の品質管理にも活用できます。
上の画面には、TopMapの測定部に設置したFDBの溝付きカウンタプレートが映し出されています(特殊な取り付け装置を使用)。位置決め後、TopMapにより、複雑な溝加工が施されている表面がナノメータ精度で測定されます。部品の加工品質は、部品を輪状線に沿って断面化し、高さと幅の成分に分割して解析することで評価できます。計測データは画面下部に表示されます。 この手法は、平行光線で物体を測定するTopMapのテレセントリック光学系で実現されています。そのためTopMapでは、他の計測手法では不可能な、くぼみやドリル穴、段差や縁端のついた検査部品など、正確に形状を計測することができます。
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