TMS-100 TopMap Metro.Lab - テクニカル データ

仕様

TMS-100 TopMap Metro.Lab － ハードウェア
干渉計タイプ	マイケルソン干渉計
画像処理方式	テレセントリック光学系
Z軸測定深度	70 mm
Z軸分解能	20 nm
バージョン	標準タイプ	拡張タイプ
視野（スティッチング処理なし）	35 mm x 22 mm	37 mm x 28 mm
XY分解能	47 µm	36 µm
XY平面の測定範囲	-	50 mm x 50 mm
視野（スティッチング処理あり）	-	~ 80 mm x 80 mm

TMS Software － ソフトウェア

TopMap Metro.Lab向け操作インタフェースとデータ解析機能を提供

計測対象を直接モニタしながら設定や調整ができるライブビデオ機能を搭載

付属のCOM/ActiveXインタフェース、またはLabVIEW™ドライバから自動制御が可能

VBA（Visual Basic®マクロ）プログラミングに対応

Microsoft Excel®、MATLAB®、およびユーザ独自のデータベースと直接インポート/エクスポート可能