面内振動測定システム
システム出力
周波数帯域
0.001 Hz ...1 MHz
分解能 /最大振幅
変位分解能（nm）
ピークからピークの 振幅（面内、μm）
5x 顕微鏡倍率
26.8
nm
840
µm
10x 顕微鏡倍率
13.5
420
20 x 顕微鏡倍率
6.7
210
40 x 顕微鏡倍率
3.4
105
50x 顕微鏡倍率
2.7
85
100 x 顕微鏡倍率
1.3
40
ストロボ照射時間(時間分解能）
50 ns
最大ストロボジッタ
± 25ns
位相精度@1kHz
0.2mrad / （0.01°において）
位相精度@100kHz
0.02rad / （1.1°において）
位相精度@1MHz
0.2rad / （11.5°において）
最高速度
> 0.1 m/s...10 m/s (倍率により異なる)
最大許容傾斜度
± 21° (倍率により異なる)
最大許容ピストン変位（面外）
50µm (倍率により異なる)
